公开(公告)号：CN109996903A

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201780072744.6

申请日：2017-11-15

Applicant: 宇部材料工业株式会社 ,  日本钨合金株式会社

Inventor： 久保宽明 ,  川边康平 ,  三谷敦志 ,  横山宗佑 ,  高巢正信

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

Abstract: 提供一种物理蒸镀用靶构件，其中，形成物理蒸镀膜时氧化所致的基底的劣化少，在物理蒸镀膜与基底的接合部产生的缺陷少，物理蒸镀膜与基底的晶格匹配性好，进而，其自身或形成的物理蒸镀膜的水合所致的变质少。物理蒸镀用靶构件包含Mg、M(M为3价金属元素)和O作为主要成分，Mg和M分别换算为MgO和M2O3这样的氧化物后的摩尔比为70：30～10：90。

公开(公告)号：CN119546551A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202380053193.4

申请日：2023-07-24

Applicant: 宇部材料工业株式会社

Inventor： 西田直人 ,  荒濑隆 ,  久保宽明

IPC: C01F5/08 ,  C09K17/02

Abstract: 本发明的碱剂的特征在于，其含有氧化镁颗粒，所述氧化镁颗粒的微晶直径为80nm～300nm，BET比表面积为0.1m2/g～1.2m2/g，MgO含有率为95.0质量％以上。(MgO含有率是将通过荧光X射线测定检测出的Mg、Ca、Si、Fe、Al这5种元素分别转换为MgO、CaO、SiO2、Fe2O3、Al2O3时的含有率(质量％)合计设为100时的值。)。