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公开(公告)号：CN103732354B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280033953.7
申请日：2012-07-06
Applicant: 宇部兴产株式会社
CPC classification number: C04B41/91 , B24B37/042 , C04B35/117 , C04B35/44 , C04B35/652 , C04B35/653 , C04B41/009 , C04B41/5346 , C04B2111/80 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3229 , C04B2235/6581 , C04B2235/764 , C04B2235/963 , C09K11/7774 , H01L33/501 , H01L2224/13 , H01L2924/12044 , C04B35/10 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种尽管是具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体，还是可有效地将其表面平坦化的光转换用陶瓷复合体的制造方法。本发明公开的一种光转换用陶瓷复合体的制造方法，具备下述步骤：步骤1：对具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体的表面进行干式刻蚀加工，由此形成相间阶差使该凝固体表面的该Al2O3相以外的氧化物结晶相相对于该Al2O3相呈凸起状；及步骤2：通过对该干式刻蚀加工后的凝固体进行CMP加工或MP加工，以使该相间阶差缩小。
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公开(公告)号：CN103260825A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180058469.5
申请日：2011-12-02
Applicant: 宇部兴产株式会社
CPC classification number: H01L33/502 , B24B37/044 , C04B35/117 , C04B35/44 , C04B35/652 , C04B2235/3225 , C04B2235/3229 , C04B2235/6581 , C04B2235/764 , C04B2235/80 , C09G1/02 , C09K3/1409 , H01B3/12 , H01L33/50
Abstract: 本发明提供一种即便为数种氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而形成的凝固体，其表面亦平坦的光转换用陶瓷复合体及其制造方法。上述光转换用陶瓷复合体的制造方法的特征在于：具备研磨步骤，该步骤是对具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体表面进行CMP，且将进行CMP时的研磨液的pH调整为11-12。又，上述光转换用陶瓷复合体是由具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体所构成，且该凝固体表面的Al2O3相及上述氧化物结晶相的相间阶差为0.010μm以下。
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公开(公告)号：CN103260825B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180058469.5
申请日：2011-12-02
Applicant: 宇部兴产株式会社
CPC classification number: H01L33/502 , B24B37/044 , C04B35/117 , C04B35/44 , C04B35/652 , C04B2235/3225 , C04B2235/3229 , C04B2235/6581 , C04B2235/764 , C04B2235/80 , C09G1/02 , C09K3/1409 , H01B3/12 , H01L33/50
Abstract: 本发明提供一种即便为数种氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而形成的凝固体，其表面亦平坦的光转换用陶瓷复合体及其制造方法。上述光转换用陶瓷复合体的制造方法的特征在于：具备研磨步骤，该步骤是对具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体表面进行CMP，且将进行CMP时的研磨液的pH调整为11-12。又，上述光转换用陶瓷复合体是由具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体所构成，且该凝固体表面的Al2O3相及上述氧化物结晶相的相间阶差为0.010μm以下。
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公开(公告)号：CN103732354A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280033953.7
申请日：2012-07-06
Applicant: 宇部兴产株式会社
CPC classification number: C04B41/91 , B24B37/042 , C04B35/117 , C04B35/44 , C04B35/652 , C04B35/653 , C04B41/009 , C04B41/5346 , C04B2111/80 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3229 , C04B2235/6581 , C04B2235/764 , C04B2235/963 , C09K11/7774 , H01L33/501 , H01L2224/13 , H01L2924/12044 , C04B35/10 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种尽管是具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体，还是可有效地将其表面平坦化的光转换用陶瓷复合体的制造方法。本发明公开的一种光转换用陶瓷复合体的制造方法，具备下述步骤：步骤1：对具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体的表面进行干式刻蚀加工，由此形成相间阶差使该凝固体表面的该Al2O3相以外的氧化物结晶相相对于该Al2O3相呈凸起状；及步骤2：通过对该干式刻蚀加工后的凝固体进行CMP加工或MP加工，以使该相间阶差缩小。
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