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公开(公告)号：CN117921451B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410338006.3
申请日：2024-03-25
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明提供了一种石英环及其加工工艺。加工工艺包括以下步骤：S100、将石英原料进行切割，得到石英环坯料；S200、采用第一研磨剂对石英环坯料进行粗磨处理，得到石英环粗抛料；S300、对石英环粗抛料进行加工处理、洗净处理，得到石英环初品；S400、采用第二研磨剂对石英环初品进行精磨处理，得到石英环粗品；S500、将石英环粗品进行检测处理，清洗处理，得到石英环。本发明通过采用研磨剂对石英环进行打磨，一方面可以批量进行，提高加工效率；同时，研磨液有助于提高工件的表面质量，减少划痕和其他缺陷；另一方面，研磨液用作冷却剂和润滑剂，降低研磨过程中的摩擦和热量产生，有助于防止工件的过热，提高寿命，并减少热变形对工件的影响。
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公开(公告)号：CN114536158A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210060741.3
申请日：2022-01-19
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本申请公开了一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，用于对石英窗中间料进行加工，石英窗中间料的上表面具有贯穿石英窗中间料的台阶孔，台阶孔具有台阶面，石英窗中间料的下表面为光滑的平直面，刻蚀机反应腔的石英窗的加工工艺包括对台阶面进行加工的台阶面加工步骤以及对平直面进行加工的平直面加工步骤；台阶面加工步骤包括：对台阶孔的孔壁进行火抛光；通过金属刀具对台阶面进行加工，铣平台阶面；将研磨液填充于台阶孔，使研磨液没过台阶面；以及通过高密度纤维对台阶面进行抛光；平直面加工步骤包括：通过喷砂的方式对平直面进行加工，增加平直面的粗糙度；以及将平直面浸泡到氟化氢溶液中，通过氟化氢溶液去除平直面上因喷砂形成的破碎层。
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公开(公告)号：CN117902814B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410268562.8
申请日：2024-03-11
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： C03B19/06 , C03B1/00 , C03B27/02 , C03B33/04 , C03C1/02 , C03C3/06 , C09G1/02 , B28D1/00 , B24B29/02
摘要： 本发明提供了一种石英环及其制备方法，制备方法包括：S100、制备石英玻璃：载料气体携带硅原料通过电感耦合等离子体火焰中点燃生成SiO2颗粒，SiO2颗粒沉积生长成石英玻璃；S200、制备CNTs‑石英复合材料：制备CNTs‑石英混合粉体，将混合粉体在惰性气体气氛中进行烧结处理，得到CNTs‑石英复合材料；S300、制备石英环：将CNTs‑石英复合材料切割打磨成环状，进行抛光处理得到石英环。通过气相沉积法制备石英玻璃，可以得到纯度更高的石英玻璃，并且在石英中添加少量的改性CNTs，可以使石英的硬度等性能有所改善，进而使产品性能更好。
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公开(公告)号：CN116408740A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310380582.X
申请日：2023-04-10
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种异形石英的快速装夹治具，包括定盘和若干夹钳，定盘设有螺栓、与异形石英上非加工部分外沿相适应的定位槽，定盘上安装有抵住异形石英加工部分外沿用的定位件，定盘上端滑动安装有至少两个滑板，滑板设有供螺栓穿过的滑槽，夹钳安装在滑板上用于夹紧异形石英上非加工部分，根据不同尺寸异形石英所需装夹位置调节滑板及夹钳相对定盘的位置，用螺母旋拧在螺栓上将滑板和定盘固定,该治具能够适用于不同尺寸异形石英的多点定位装夹，第一次装夹好后，后续加工同样产品可以无需重新打表及定位。
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公开(公告)号：CN115818932A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211454916.5
申请日：2022-11-21
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种石英工件的旋转摩擦熔接装置及方法，摩擦熔接装置包括线性驱动装置、两个旋盘，其中一个旋盘与旋转主轴相连，旋转主轴与旋转驱动装置相连，另一个旋盘与线性驱动装置相连，旋盘上设有装夹石英工件用的卡爪，两个石英工件的接触部位外侧设有温度传感器，温度传感器用于检测两个石英工件接触部位的温度并将检测温度值传输至控制器，控制器判断该检测温度是否达到软化温度，并输出控制信号给线性驱动装置和旋转驱动装置以控制对应旋盘的转动或移动状态，摩擦熔接方法包括以下步骤：石英工件的中心对齐装夹；两石英工件摩擦熔接；高温退火，整个方法无需消耗氢氧气，降低热加工的作业危险性，石英工件对接牢固，方法简单。
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公开(公告)号：CN115741528A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211455358.4
申请日：2022-11-21
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种环类石英产品定位夹具，包括定盘和金属环，定盘上端设有若干安装槽，安装槽内安装有磁铁，定盘上表面放置有石英环，石英环上表面放置有金属环，通过磁铁与金属环之间的磁吸作用对石英环进行紧固装夹，以及通过取下金属环便可拿取或更换石英环，金属环外侧设有用于避免划伤石英环用的保护层，该夹具使得石英环尤其是薄壁类型石英环的拆装较为方便，加工时无需粘蜡、脱蜡，缩短石英环的整体加工时间，提升加工效率。
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公开(公告)号：CN112879788A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110089640.4
申请日：2021-01-22
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种外置式的石英加工中心润滑液冷却系统装置，包括石英加工中心和冷却装置，石英加工中心上设有喷淋管和润滑液收集槽，石英加工中心外侧设有润滑液存储室，润滑液存储室分别与润滑液收集槽、喷淋管相连，所述冷却装置包括壳体、水箱、压缩机、冷凝器，水箱内部安装有蒸发器，蒸发器、压缩机、冷凝器之间用管路连接后形成封闭水箱冷却回路，所述壳体上设有进水口、出水口、排水口和供水口，进水口和出水口之间用水管相连并形成闭环水路，部分水管伸入润滑液存储室内以对润滑液存储室内的润滑液进行冷却。本发明具有润滑液冷却时无需流向冷却装置防止润滑液中的石英颗粒堵住冷却装置，通过冷凝水与润滑液间接热交换来冷却等优点。
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公开(公告)号：CN117921451A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410338006.3
申请日：2024-03-25
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
摘要： 本发明提供了一种石英环及其加工工艺。加工工艺包括以下步骤：S100、将石英原料进行切割，得到石英环胚料；S200、采用第一研磨剂对石英环胚料进行粗磨处理，得到石英环粗抛料；S300、对石英环粗抛料进行加工处理、洗净处理，得到石英环初品；S400、采用第二研磨剂对石英环初品进行精磨处理，得到石英环粗品；S500、将石英环粗品进行检测处理，清洗处理，得到石英环。本发明通过采用研磨剂对石英环进行打磨，一方面可以批量进行，提高加工效率；同时，研磨液有助于提高工件的表面质量，减少划痕和其他缺陷；另一方面，研磨液用作冷却剂和润滑剂，降低研磨过程中的摩擦和热量产生，有助于防止工件的过热，提高寿命，并减少热变形对工件的影响。
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公开(公告)号：CN117623600A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311597174.6
申请日：2023-11-27
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： C03B20/00 , C03B23/207 , C03B23/20
摘要： 本申请公开了一种石英产品的熔接装置，石英产品包括石英管以及石英盘，石英产品的熔接装置包括：机架；转动组件，转动安装在机架上，转动组件具有供石英管的下端插入的环形槽，转动组件转动时能够带动石英管一起转动；驱动组件，设于机架上，用于驱动转动组件转动；转动电机，位于转动组件的上方，转动电机的输出轴用于与石英盘连接，带动石英盘转动；升降元件，位于转动电机的上方，用于带动转动电机和石英盘上下移动；熔接组件，设于机架上，熔接组件具有对准石英管上端的第一加热喷头。本申请中，加热喷头能够喷射火焰，加热石英管的上端和石英盘的周沿，使石英管和石英盘能够熔融熔接在一起，实际运用时，火焰的燃料可以为氢气。
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公开(公告)号：CN115745384A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211474017.1
申请日：2022-11-22
申请人： 宁波云德半导体材料有限公司
IPC分类号： C03B25/00
摘要： 本发明公开了一种厚石英产品的退火方法，包括以下几个步骤：将经过火抛光后的厚石英产品放入退火炉内，在1100～1200℃的炉内温度下保温5.8～6.2h；在4.2～5.7h内将厚石英产品温度降低至780～810℃，之后随炉冷却至490～500℃后取出，完成退火，其中，厚石英产品为厚度不低于20mm的石英产品，控制厚石英产品在退火炉中的特定保温时间、特定降温速率，最大程度降低厚石英产品内部应力，避免产品开裂。
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