公开(公告)号：CN109706427A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201811618660.0

申请日：2018-12-28

Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司

Inventor： 李兆博 ,  马小文 ,  汪凯 ,  杜领会 ,  宿康宁 ,  李小平 ,  李积贤 ,  黄浩 ,  杨烈 ,  杜欣

IPC: C23C14/34 ,  C22F1/18

Abstract: 本发明涉及一种平面铌靶材的制备方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取铌锭进行锻造，锻造的具体方式为径向型砧打圆轴向拔长，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(2)将步骤(1)得到的铌锭进行再次锻造，锻造的具体方式为90度换向压扁锻造，将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；(3)将步骤(2)得到的铌锭进行轧制得到铌板，对铌板进行热处理，得到平面铌靶材。本发明在轧制阶段使铌锭变形更均匀，并且在加工后配合中间的热处理工艺，使铌靶材的组织越来越均匀化，细化，最终得到组织均匀、晶粒度小于50μm的等轴晶组织平面铌靶材。