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发明公开
移动装置的位置误差评价方法和根据其评价结果改善移动精度的方法失效

公开(公告)号：CN1392950A

公开(公告)日：2003-01-22

申请号：CN01802781.4

申请日：2001-01-22

Applicant: 学校法人中央大学

Inventor： 佐藤芳 , 梅田和昇

IPC: G01B21/00 , B23Q17/00 , B23Q17/24

CPC classification number: B82Y15/00 , B23Q17/24 , B25J9/1669 , G01B21/042 , G01B21/045

Abstract: 在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法，利用关于与上述二或三轴中的确定二轴方向相垂直的一个方向的移动物体的位置误差来确定表示可移动物体在沿预定二轴线方向中的单轴方向的位置误差变化状态的直线误差曲线；对该二轴方向中的另一单轴方向重复直线误差曲线确定。

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