一种微调载物台
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119491990A

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202411883152.0

    申请日:2024-12-19

    Abstract: 本申请公开了一种微调载物台,包括底座、高度调节组件和载物座,其中高度调节组件包括安装座、支撑件、柔性铰链、顶升组件和驱动组件,安装座包括固定部和活动部,固定部固定在底座上,固定部和活动部通过柔性铰链连接,支撑件设于活动部的顶部,顶升组件设于固定部上,且与活动部连接,驱动组件设于固定部上,且与顶升组件活动连接;载物座设于支撑件上,本申请提供的微调载物台可实现微米精度下行程范围内顶部载板任意位姿的调节,使用常规的伺服驱动电机即可达到高精密的机构控制,从而能够满足精密机械领域高精度调节的需求。

    一种长平面反射镜的二自由度调节装置

    公开(公告)号:CN115437102B

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202211384723.7

    申请日:2022-11-07

    Abstract: 本申请涉及长平面反射镜的安装领域,具体公开了一种长平面反射镜的二自由度调节装置,包括二自由度调整台和定点安装台;二自由度调整台包括:第一底座、平移组件和旋转组件,平移组件包括第一固定部和滑动部,滑动部能够在第一固定部上沿左右方向往复移动;旋转组件包括第二固定部和转动部,转动部与第二固定部左右方向的其中一侧铰接,转动部能够在第二固定部上绕铰接处的旋转轴旋转;长平面反射镜的一端与转动部连接,另一端与定点安装台连接,本申请的长平面反射镜的二自由度调节装置能够有效调节长平面反射镜绕X轴的俯仰角度和绕Z轴的偏摆角度,其结构简单且操作方便。

    磁悬浮平面电机的优化方法、装置、设备及存储介质

    公开(公告)号:CN119940091A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411928473.8

    申请日:2024-12-25

    Abstract: 本发明涉及结构优化技术领域,尤其涉及磁悬浮平面电机的优化方法、装置、设备及存储介质,所述方法包括:预训练线性力预测模型,对基于待优化参数生成的初始量子编码进行测量以确定搜索方向,基于搜索方向对预设的左触角编码和右触角编码进行更新后再进行测量,基于测量结果获取左适应度值和右适应度值,以更新初始量子编码并获取对应的更新适应度值;若更新适应度值<预设的适应度值,则获取与更新量子编码对应的更新位置以替换预设的最佳位置,并返回执行根据所述初始二进制编码和预设的最佳位置确定搜索方向,重复迭代以获取最优解决方案;本申请公开的方法,可迅速获取待优化参数的最优解决方案,有效提高磁悬浮平面电机的能量使用效率。

    OLED基板微调用的高精度六自由度微动台

    公开(公告)号:CN115782422A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202310066069.3

    申请日:2023-02-06

    Abstract: 本发明涉及一种OLED基板微调用的高精度六自由度微动台,属于显示面板加工技术领域,其包括密封箱体、气体纯化器和均位于密封箱体中的喷墨打印设备和六自由度运动平台。密封箱体设有回风进口和回风出口,以及连通回风进口和回风出口的回风通道。密封箱体中设有用于驱动密封箱体中的气流从回风进口吹向回风出口的风机单元。密封箱体中设有沿密封箱体中气体的流通方向依次布置的过滤网和稳流板,六自由度运动平台位于稳流板背离过滤网的一侧。气体纯化器的排气口与密封箱体连通。在密封箱体中营造稳流稳压环境,使得喷墨头喷出的液滴精准到达待加工基板上目标位置,提升加工精度。

    应用粘滑摩擦机制的精密运动补偿装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN119689840A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202510199088.2

    申请日:2025-02-24

    Abstract: 本发明涉及精密运动技术领域,尤其涉及一种应用粘滑摩擦机制的精密运动补偿装置及其控制方法,包括底座、顶板和PID控制器,顶板与底座之间通过两组交叉滚子导轨连接,底座的中部连接有粘滑促动器,通过涡流搜索算法对PID控制器参数进行全局优化,能够显著提升PID控制器的动态性能和稳态精度,使系统在非线性、高频扰动的条件下能够保持稳定运行,并且采用双级运动控制策略,当误差值大于预设阈值时,采用最大步长进行粗略定位,快速接近目标位置,提高控制响应速度,当误差小于或等于预设阈值时,切换至PID控制器参数优化后的精细运动模式,实现高精度的最终定位,在响应速度与控制精度之间实现了平衡,提升了运动控制的综合性能。

    一种均温板及其温度控制方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119321698A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411872495.7

    申请日:2024-12-18

    Abstract: 本申请公开了一种均温板及其温度控制方法,包括散热层、均温板、输液管和流量调速阀,散热层用于放置面板,均温板设于散热层底部,均温板上设有安装面,安装面包括由内向外依次设置的中心部、过渡部和边缘部,中心部、过渡部和边缘部上分别设有至少一个输液管,输液管设有向外伸出的输液口和出液口,流量调速阀设于输液口上,其可满足面板干燥中冷却工艺和加热工艺需求,均温板通过多个区域设置管道的方式,满足对不同区域温度调节的需要,管道中既可以通入加热的循环液对均温板进行加热,也可以通入冷却的循环液对均温板进行冷却,可快速加热和冷却相互切换。

    用于大行程导轨的直线度测量装置及误差获取方法

    公开(公告)号:CN116086361B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310381396.8

    申请日:2023-04-11

    Abstract: 本申请涉及导轨直线度测量技术领域,涉及一种用于大行程导轨的直线度测量装置及误差获取方法,装置包括导轨和滑动设置在所述导轨上的运动平台,其中,还包括多个沿所述导轨轴向拼接的平面反射镜,所述运动平台朝向所述平面反射镜的一侧设置有直线度测量机构,所述运动平台朝向所述平面反射镜的一侧设置有不重合的第一测试点位和第二测试点位,所述直线度测量机构用于和所述平面反射镜配合测量所述直线度测量机构在所述第一测试点位的第一距离和在所述第二测试点位的第二距离;所述直线度测量机构还用于根据所述第一距离和所述第二距离计算所述运动平台的偏摆角度误差。本发明具有成本低、安装简单和精度高的有益效果。

    一种可实时监控精度的OLED喷墨打印喷头模组及监控方法

    公开(公告)号:CN118617878A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202411110264.2

    申请日:2024-08-14

    Abstract: 本发明公开一种可实时监控精度的OLED喷墨打印喷头模组及监控方法,涉及喷墨打印技术领域,该喷头模组包括模组壳体、喷头组件和精度监控机构;所述喷头组件包括喷头安装座和打印喷头;所述精度监控机构包括水平旋转精度监控组件和竖向旋转精度监控组件;所述水平旋转精度监控组件设有两组且包括水平传感器安装座和水平距离传感器;两组水平距离传感器的探头正对着喷头安装座的两端侧面;所述竖向旋转精度监控组件设有两组且均包括竖向传感器安装座和竖向距离传感器。本发明通过双精密传感器间的差值进行喷头精度稳定性分析,使得喷头精度的监控数据更加可靠;同时在打印过程中同时测出实时的打印高度,有利于控制喷墨打印的最终精度。

    用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法

    公开(公告)号:CN116086360B

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310381268.3

    申请日:2023-04-11

    Abstract: 本申请涉及导轨直线度测量技术领域,提供了一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法,装置包括导轨、滑动设置在所述导轨上的运动平台和沿导轨轴向拼接的多块平面反射镜,所述运动平台包括第一直线度测量机构和第二直线度测量机构,所述第一直线度测量机构用于配合平面反射镜测量所述运动平台的实时直线度;所述第二直线度测量机构用于测量所述运动平台的直线度偏差;每个所述平面反射镜还设置有调节机构,用于调节所述平面反射镜的位置。本发明针对直线度实时测量过程中的测量值进行误差分离,通过误差分离方法将平面反射镜拼接带来的拼接误差提前进行分离,使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台直线度偏差。

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