彩色滤光结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN109031751B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201710431145.0

    申请日:2017-06-09

    Inventor: 谢于叡 陈柏男

    Abstract: 一种彩色滤光结构的制造方法,包含:在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层;执行微影制程以形成虚拟涂层,其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻,其中沟槽系夹设于两相邻的柱状透明光阻之间;以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。

    影像感测器结构
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108807432A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810127191.6

    申请日:2018-02-08

    Inventor: 谢于叡 陈柏男

    Abstract: 本发明公开一种影像感测器结构,包含基板、彩色滤光元件和红外线滤光元件。基板具有第一感测区域及一第二感测区域,其中第一感测区域用以侦测可见光,且第二感测区域邻接第一感测区域且用以侦测红外光。彩色滤光元件垂直地位于第一感测区域上。红外线滤光元件垂直地位于第二感测区域上且邻接彩色滤光元件,此红外线滤光元件定义出用以使入射光通过的一或多个开口。

    影像感测器、微透镜阵列以及用于制造在该影像感测器中具有不同高度的微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:CN109996047A

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201910003989.4

    申请日:2019-01-03

    Inventor: 谢于叡 陈柏男

    Abstract: 本发明提供一种影像感测器、在该影像感测器的一像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列以及用于制造在该影像感测器的像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列的方法,本发明可以使用三种不同的光罩制造在该影像感测器的像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列,并且本发明所揭露的在该影像感测器中的像素尺寸等级中具有不同高度的该微透镜阵列能够以较低成本为该影像感测器中的每一感光二极体提供相同的焦深(或几乎相同的焦深)。

    影像感测器结构
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108807432B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201810127191.6

    申请日:2018-02-08

    Inventor: 谢于叡 陈柏男

    Abstract: 本发明公开一种影像感测器结构,包含基板、彩色滤光元件和红外线滤光元件。基板具有第一感测区域及一第二感测区域,其中第一感测区域用以侦测可见光,且第二感测区域邻接第一感测区域且用以侦测红外光。彩色滤光元件垂直地位于第一感测区域上。红外线滤光元件垂直地位于第二感测区域上且邻接彩色滤光元件,此红外线滤光元件定义出用以使入射光通过的一或多个开口。

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