Invention Publication
- Patent Title: 彩色滤光结构及其制造方法
- Patent Title (English): Color filter structure and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201710431145.0Application Date: 2017-06-09
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Publication No.: CN109031751APublication Date: 2018-12-18
- Inventor: 谢于叡 , 陈柏男
- Applicant: 奇景光电股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾台南市
- Assignee: 奇景光电股份有限公司
- Current Assignee: 奇景光电股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾台南市
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 李隆涛
- Main IPC: G02F1/1335
- IPC: G02F1/1335 ; G03F7/00

Abstract:
一种彩色滤光结构的制造方法,包含:在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层;执行微影制程以形成虚拟涂层,其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻,其中沟槽系夹设于两相邻的柱状透明光阻之间;以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。
Public/Granted literature
- CN109031751B 彩色滤光结构及其制造方法 Public/Granted day:2021-03-23
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IPC分类: