彩色滤光结构及其制造方法
Abstract:
一种彩色滤光结构的制造方法,包含:在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层;执行微影制程以形成虚拟涂层,其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻,其中沟槽系夹设于两相邻的柱状透明光阻之间;以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。
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