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公开(公告)号:CN101796725B
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN200780100426.2
申请日:2007-11-19
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/0222 , H03H9/02653
Abstract: 本发明提供一种降低了无需响应在特定频率下的插入损失的最大量的弹性边界波器件。包括:压电基板(16),具有压电性;梳形电极(14a、14b),形成在所述压电基板上;第一介质(17),在所述压电基板上形成为覆盖所述梳形电极;以及第二介质(18),形成在所述第一介质上;所述梳形电极具有多个电极爪(13a、13b)、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条(12a)。包括第三介质(19a),该第三介质形成在所述第一介质上,第二介质和第三介质接触于第一介质,第一介质、第二介质以及第三介质通过各不相同的材料构成,形成有第三介质的部分的长度相对于与电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在电极爪的长度方向上不相同。
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公开(公告)号:CN101154936B
公开(公告)日:2012-04-18
申请号:CN200710161739.0
申请日:2007-09-25
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6459 , H03H9/6469 , H03H9/6483
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器以及滤波器。一种滤波器,其包括:并联谐振器,该并联谐振器具有设置在压电基板上的第一梳状电极,和覆盖该第一梳状电极的第一介电膜;和串联谐振器,该串联谐振器具有设置在所述压电基板上的第二梳状电极,和覆盖该第二梳状电极并且由和所述第一介电膜的材料相同的材料制成的第二介电膜。所述第一介电膜具有和所述第二介电膜的厚度不同的厚度。
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公开(公告)号:CN101150302B
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN200710153441.5
申请日:2007-09-19
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0057 , H03H9/02574 , H03H9/02929 , H03H9/14538 , H03H9/6469
Abstract: 本发明涉及声波器件和滤波器。所述声波器件包括压电基板,在所述压电基板上形成的第一介电膜,以及在所述第一介电膜上设置的并且激发声波的多个电极,所述电极包括多个电极指。在所述电极指中的相邻电极指之间,所述第一介电膜的至少一部分被切除。
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公开(公告)号:CN101847980A
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200910261121.0
申请日:2009-12-28
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/0222 , H03H9/02929
Abstract: 本发明提供了一种声波装置及其制作方法。一种制作声波装置的方法包括:在压电衬底上形成具有多个电极指的交叉指型电极;形成阻挡膜,以使其覆盖交叉指型电极;在阻挡膜上形成介质;测量由交叉指型电极激发的声波装置的频率特性;以及在声波装置由交叉指型电极激发的激发区域中,通过使阻挡层图案化或者进一步设置调整膜,来形成与其他部分具有不同厚度的调整区域。当形成调整区域时,依照所测量的频率特性来调整激发区域中的调整区域的面积T。
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公开(公告)号:CN101796727A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200780100263.8
申请日:2007-08-14
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6433
Abstract: 本发明的弹性边界波装置包括多个弹性边界波元件,所述弹性边界波装置的特征在于,所述弹性边界波元件包括:压电材料层;电极,所述电极配置在所述压电材料层之上;第一电介质层,所述第一电介质层以覆盖所述电极的方式形成在所述压电材料层之上;以及第二电介质层,所述第二电介质层形成在所述第一电介质层之上;所述第二电介质层的声速比所述第一电介质层的声速快,所述多个弹性边界波元件中的至少一个弹性边界波元件的第二电介质层的声速不同于其他弹性边界波元件的第二电介质层的声速。由此,能够改善弹性边界波装置的作为滤波器的抑制度。
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公开(公告)号:CN103053111B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180037548.8
申请日:2011-04-27
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/02102 , H03H9/02834 , H03H9/131 , H03H9/174
Abstract: 本发明涉及一种弹性波装置,该弹性波装置具备压电基板20、设于压电基板20上的电极22和氧化硅膜26,该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子,并且以覆盖设于压电基板20上的梳型电极22的方式来进行设置;或者,本发明的弹性波装置具备压电膜34、夹着压电膜34进行设置的电极32、36和氧化硅膜38,该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子,并且被设置在夹着压电膜34的下部电极32与上部电极36相向的区域。
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公开(公告)号:CN101820262B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN200910221924.3
申请日:2009-11-23
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/0222 , H03H9/25 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供声波装置及其制作方法、双工器、通讯模块、通讯设备。一种声波装置,其包括压电衬底、布置在压电衬底上的交叉指型电极、安置在交叉指型电极之间的第一电介质元件、覆盖交叉指型电极和第一电介质元件的第二电介质元件以及形成在第一电介质元件上的调整元件。调整元件由比重大于第一电介质元件的比重和第二电介质元件的比重的材料形成。
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公开(公告)号:CN101145767B
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200710149287.4
申请日:2007-09-11
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0038 , H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6469
Abstract: 本发明公开了声波器件和滤波器。该声波器件包括压电基板、设置在所述压电基板上的第一介电膜、设置在所述第一介电膜上并激发声波的电极,以及设置成覆盖所述电极并且比所述电极更厚的第二介电膜。
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公开(公告)号:CN101796725A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200780100426.2
申请日:2007-11-19
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/0222 , H03H9/02653
Abstract: 提供一种降低了无需响应在特定频率下的插入损失的最大量的弹性边界波器件。包括:压电基板(16),具有压电性;梳形电极(14a、14b),形成在所述压电基板上;第一介质(17),在所述压电基板上形成为覆盖所述梳形电极;以及第二介质(18),形成在所述第一介质上;所述梳形电极具有多个电极爪(13a、13b)、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条(12a)。包括第三介质(19a),该第三介质形成在所述第一介质上,第二介质和第三介质接触于第一介质,第一介质、第二介质以及第三介质通过各不相同的材料构成,形成有第三介质的部分的长度相对于与电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在电极爪的长度方向上不相同。
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公开(公告)号:CN101796727B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN200780100263.8
申请日:2007-08-14
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6433
Abstract: 本发明的弹性边界波装置包括多个弹性边界波元件,所述弹性边界波装置的特征在于,所述弹性边界波元件包括:压电材料层;电极,所述电极配置在所述压电材料层之上;第一电介质层,所述第一电介质层以覆盖所述电极的方式形成在所述压电材料层之上;以及第二电介质层,所述第二电介质层形成在所述第一电介质层之上;所述第二电介质层的声速比所述第一电介质层的声速快,所述多个弹性边界波元件中的至少一个弹性边界波元件的第二电介质层的声速不同于其他弹性边界波元件的第二电介质层的声速。由此,能够改善弹性边界波装置的作为滤波器的抑制度。
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