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公开(公告)号：CN110004409B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201910327298.X
申请日：2019-04-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层及其制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合镀技术在基材上制备了CrAlN纳米梯度涂层，镀膜前先通入Ar气，采用‑600～1000V偏压，对基体进行辉光清洗10～30min，随后开启Cr靶，并逐渐降低偏压至‑20～‑100V，沉积金属Cr过渡层5～20min；通入N2，保持5～40min沉积CrN层；开启Al靶，使Al靶功率线性增加，沉积成分连续变化的CrAlN纳米梯度涂层。本发明涉及的CrAlN纳米梯度涂层组织致密，硬度高，与基体具有很高的结合力，制备工艺简单，重复性好，容易工业化生产。
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公开(公告)号：CN110004409A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910327298.X
申请日：2019-04-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层及其制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合镀技术在基材上制备了CrAlN纳米梯度涂层，镀膜前先通入Ar气，采用-600～1000V偏压，对基体进行辉光清洗10～30min，随后开启Cr靶，并逐渐降低偏压至-20～-100V，沉积金属Cr过渡层5～20min；通入N2，保持5～40min沉积CrN层；开启Al靶，使Al靶功率线性增加，沉积成分连续变化的CrAlN纳米梯度涂层。本发明涉及的CrAlN纳米梯度涂层组织致密，硬度高，与基体具有很高的结合力，制备工艺简单，重复性好，容易工业化生产。
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公开(公告)号：CN111304612B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202010234046.5
申请日：2020-03-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlN/AlN纳米多层涂层。选用纯金属CrAl和Al作为靶材，通过控制CrAl靶电流和Al靶功率，调控涂层CrAlN层和AlN层调制周期。本发明制备的CrAlN/AlN纳米多层涂层组织结构致密，具有很高的硬度和抗高温氧化性能及耐蚀性能，并与基体之间结合良好。
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公开(公告)号：CN111304612A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010234046.5
申请日：2020-03-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlN/AlN纳米多层涂层。选用纯金属CrAl和Al作为靶材，通过控制CrAl靶电流和Al靶功率，调控涂层CrAlN层和AlN层调制周期。本发明制备的CrAlN/AlN纳米多层涂层组织结构致密，具有很高的硬度和抗高温氧化性能及耐蚀性能，并与基体之间结合良好。
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