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公开(公告)号:CN107515438B
公开(公告)日:2020-09-08
申请号:CN201710795923.4
申请日:2017-09-06
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明公开了一种红外宽谱段截止窄带激光分光元件,其包括:基底,基底的第一表面(a)上镀长波通截止滤光薄膜,基底的第二表面(b)上镀窄带通滤光薄膜。本发明分别将长波通和窄带通滤光片设计在元件的两个表面,通过调整两个膜系结构的厚度,能够有效控制表面的面形变化,可实现的技术指标如下为:3μm‑5μm波长范围内的反射率达到99.99%以上,8μm‑10.5μm波长范围内的平均反射率达到96%以上,10.7μm‑12μm波长范围内的平均反射率达到93%以上;10.6μm波长的带宽为0.3μm,透过率达到94%以上。
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公开(公告)号:CN109580543A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811419763.4
申请日:2018-11-26
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明属于光学技术领域,具体涉及一种热分布梯度下平行平板的热发射率获取方法。当平行平板处于具有热分布梯度的情况下,热效应导致材料的折射率与消光系数发生变化。本方法是将平行平板中的连续温度梯度进行离散化,在轴向垂直的方向上对材料进行平面切片,对多层切片的辐射光波强度线性叠加,继而可获得平行平板的热发射率计算方法。通过该方法可以计算出材料在热分布梯度下的光谱发射率特性。该方法对于半透明平行平板光学材料的热辐射具有普适性。
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公开(公告)号:CN108196332A
公开(公告)日:2018-06-22
申请号:CN201711160788.2
申请日:2017-11-20
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明公开了一种可滤除二氧化碳红外吸收干扰的中波红外反射滤光薄膜,其中,该中波反射滤光薄膜结构针对不同基底有所不同,若为金属材料基底,则薄膜结构如下:Sub/x1M x2L x3H x4L x5H/Air;若为非金属材料基底,则薄膜结构如下:Sub/x1A x2H x3L x4H/Air;其中,Sub为基底,A为一层金属膜,H、M和L分别代表高折射率、中折射率和低折射率材料,Air为入射介质空气,x1-x5分别代表每层膜的光学厚度系数,单位光学厚度为λ0/4,设计入射角度为45°。本发明将二氧化碳吸收滤除功能与反射镜相结合,有利于简化系统结构,设计出的膜系结构具有总厚度小、应力小、光学性能好的特点,在实际制备中对工艺要求较低。
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公开(公告)号:CN106498351A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201610959060.5
申请日:2016-11-03
申请人: 天津津航技术物理研究所
CPC分类号: C23C14/0036 , C23C14/0635 , C23C14/221 , C23C14/3442
摘要: 本发明公开了一种提高离子束反应溅射法制备碳化锗薄膜牢固度的方法,其包括以下步骤:S1:基片清洗;S2:预溅射,将清洗后的基片放入离子束溅射镀膜机内,以Ge作为靶材,CH4作为反应气体,用离子源对Ge靶材进行预溅射;S3:辅助离子源预轰击基片;S4:离子束反应溅射淀积Ge1-xCx薄膜,开启主离子源,向真空室通入反应气体CH4,进行Ge1-xCx薄膜淀积。本发明使用辅助离子源对基底进行预轰击,可以有效提高Ge1-xCx薄膜与基底之间的附着力,该工艺过程简单、有效、可靠。
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公开(公告)号:CN106443841A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201611000421.X
申请日:2016-11-14
申请人: 天津津航技术物理研究所
IPC分类号: G02B1/115
CPC分类号: G02B1/115
摘要: 本发明公开了一种超低剩余反射率ZnS基底长波减反射薄膜,其主要特征是:通过使用锗、硫化锌和氟化钇三种薄膜材料组合,将膜层总物理厚度控制在2um左右;高应力的氟化钇膜层共两层,最大层厚度小于0.4um。通过镀制该减反射薄膜可将硫化锌基底在7.5-9.7um波段范围内最大剩余反射率降至0.5%以下,平均反射率降至0.1%以下。该膜层适用于各种硫化锌基底的表面减反射处理,可用各种热蒸发的沉积方式制备。
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公开(公告)号:CN114136896B
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202111414307.2
申请日:2021-11-25
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本申请提供一种光学薄膜光学常数工艺相关性的实验方法,包括以下步骤:设定单层薄膜;设定所述单层薄膜的目标工艺参数A;设置所述目标工艺参数A的值A1,A2......An;以设定规则对所述目标工艺参数A进行排序;按排序后的所述目标工艺参数A的顺序依次在光学基底上制备具有对应所述目标工艺参数A的值的所述单层薄膜,每层所述单层薄膜的其它工艺参数不变,获得分层光学薄膜;获取所述分层光学薄膜的目标光谱;构建所述分层光学薄膜的物理模型,每层所述单层薄膜具有相同的光学常数模型;以所述目标光谱为目标函数,对所述物理模型的每层所述单层薄膜的光学常数进行拟合;计算获得所述单层薄膜的光学常数;获得所述光学常数和所述目标工艺参数A的相关性。
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公开(公告)号:CN109580543B
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN201811419763.4
申请日:2018-11-26
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明属于光学技术领域,具体涉及一种热分布梯度下平行平板的热发射率获取方法。当平行平板处于具有热分布梯度的情况下,热效应导致材料的折射率与消光系数发生变化。本方法是将平行平板中的连续温度梯度进行离散化,在轴向垂直的方向上对材料进行平面切片,对多层切片的辐射光波强度线性叠加,继而可获得平行平板的热发射率计算方法。通过该方法可以计算出材料在热分布梯度下的光谱发射率特性。该方法对于半透明平行平板光学材料的热辐射具有普适性。
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公开(公告)号:CN110824588A
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201911146603.1
申请日:2019-11-21
申请人: 天津津航技术物理研究所
IPC分类号: G02B1/14
摘要: 本发明涉及一种中波红外硬质保护薄膜窗口的设计方法,属于光学薄膜技术领域。本发明设计了一种新型中波红外硬质保护薄膜窗口的设计方法,它通过采用中波增透硬质保护薄膜和中波增透薄膜相结合的方法,能够有助于中波红外硬质保护薄膜窗口的制备。设计过程中,它通过在Si基底一面设计中波增透硬质保护薄膜,其中选择高硬度的Si3N4薄膜作为最外层保护薄膜,在另一面设计中波增透薄膜,能实现高透过率、高硬度的中波红外硬质保护薄膜窗口的设计。
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公开(公告)号:CN107300783B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201710694610.X
申请日:2017-08-15
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的分色元件及设计方法。本发明采用两块工作角度为45°的平行平板光学元件,通过对平板光学元件两侧光学薄膜的合理选择,依次按照红外波段透射、可见光反射和激光透射的方法进行分色,中红外波段的平均分光系数达到96%以上,可见光平均分光系数达到98%以上,1.06μm波段的分光系数达到98%以上。
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公开(公告)号:CN107290814B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201710694595.9
申请日:2017-08-15
申请人: 天津津航技术物理研究所
摘要: 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的全介质薄膜分色元件及设计方法。本发明提出的分色元件及设计方法,按照可见光与激光反射、红外透射的方法进行分光,与传统的介质‑金属‑介质膜系结构不同,在硅材料基底上采用全介质薄膜材料设计,可见光波段与激光的平均分光效率达到98%以上,中红外波段的平均分光效率达到97%以上。
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