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公开(公告)号：CN117169557A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311128151.0
申请日：2023-09-01
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明提供一种加速老化试验的试验装置和试验方法，试验装置包括试验箱体，试验箱体内具有第一腔体；试验模块包括置于第一腔体内的试验架体和挂置在试验箱体外的采集组件，试验架体用于放置多个电器元件，采集组件用于采集各电器元件在不同试验条件下的电阻值；控制模块设于试验箱体外，且与采集组件电连接，控制模块控制试验箱体的试验条件，试验条件至少包括第一腔体内的温度和湿度；控制模块还用于输出并储存各电器元件的试验结果，试验结果至少包括多组试验条件以及在各组试验条件下的电阻值，该方案实现多个电器元件在统一的试验条件下同时进行加速老化试验，为电器元件非工作状态下贮存可靠性和寿命评估提供有力的试验途径。
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公开(公告)号：CN114136896B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202111414307.2
申请日：2021-11-25
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本申请提供一种光学薄膜光学常数工艺相关性的实验方法，包括以下步骤：设定单层薄膜；设定所述单层薄膜的目标工艺参数A；设置所述目标工艺参数A的值A1,A2......An；以设定规则对所述目标工艺参数A进行排序；按排序后的所述目标工艺参数A的顺序依次在光学基底上制备具有对应所述目标工艺参数A的值的所述单层薄膜，每层所述单层薄膜的其它工艺参数不变，获得分层光学薄膜；获取所述分层光学薄膜的目标光谱；构建所述分层光学薄膜的物理模型，每层所述单层薄膜具有相同的光学常数模型；以所述目标光谱为目标函数，对所述物理模型的每层所述单层薄膜的光学常数进行拟合；计算获得所述单层薄膜的光学常数；获得所述光学常数和所述目标工艺参数A的相关性。
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公开(公告)号：CN107300783B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201710694610.X
申请日：2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种可见光波段(0.6～0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0～5.0μm)透射的分色元件及设计方法。本发明采用两块工作角度为45°的平行平板光学元件，通过对平板光学元件两侧光学薄膜的合理选择，依次按照红外波段透射、可见光反射和激光透射的方法进行分色，中红外波段的平均分光系数达到96％以上，可见光平均分光系数达到98％以上，1.06μm波段的分光系数达到98％以上。
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公开(公告)号：CN107290814B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201710694595.9
申请日：2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种可见光波段(0.6～0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0～5.0μm)透射的全介质薄膜分色元件及设计方法。本发明提出的分色元件及设计方法，按照可见光与激光反射、红外透射的方法进行分光，与传统的介质‑金属‑介质膜系结构不同，在硅材料基底上采用全介质薄膜材料设计，可见光波段与激光的平均分光效率达到98％以上，中红外波段的平均分光效率达到97％以上。
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公开(公告)号：CN107315257A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710694580.2
申请日：2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G02B27/1006
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种中波和红外波段的高效分光、在中波波段同步滤除二氧化碳红外辐射波长的分色元件及设计方法。该分色元件基于ZnS或ZnSe材料作为基底，可以将中波红外波段(3～5μm)以反射的方式分离，3.5～4.1μm反射率达到96％以上，4.4～4.7μm反射率达到90％以上，二氧化碳波长的反射率为10％以下；透射方向含有二氧化碳波长和长波红外波段(7.5～9.7μm)，7.5～9.7μm波段的透过率为97％以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107300783A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710694610.X
申请日：2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
CPC classification number: G02B27/1006 , G02B1/115 , G02B27/0012
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种可见光波段(0.6～0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0～5.0μm)透射的分色元件及设计方法。本发明采用两块工作角度为45°的平行平板光学元件，通过对平板光学元件两侧光学薄膜的合理选择，依次按照红外波段透射、可见光反射和激光透射的方法进行分色，中红外波段的平均分光系数达到96％以上，可见光平均分光系数达到98％以上，1.06μm波段的分光系数达到98％以上。
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公开(公告)号：CN106556572A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201611000844.1
申请日：2016-11-14
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G01N21/41
CPC classification number: G01N21/41 , G01N2021/4126
Abstract: 本发明公开了一种光学薄膜特性之间相关性的确定方法，该发明的特点是通过使用统计数学的相关性分析技术，不限于特定的薄膜工艺实验设计，将同种工艺制备的薄膜特性测试结果进行分析，可得到薄膜两种特性之间的相关性。本方法对于光学薄膜特性之间相关性的分析具有普适性。
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公开(公告)号：CN106435493A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610959079.X
申请日：2016-11-03
Applicant: 天津津航技术物理研究所
CPC classification number: C23C14/3442 , C23C14/0036 , C23C14/024 , C23C14/0605
Abstract: 本发明提出了一种高性能ZnS基底复合增透硬质保护薄膜的制备方法，属于高性能红外硬质保护薄膜制备技术。其主要特征为：采用离子束反应溅射法连续制备由高折射率的碳化锗(Ge1-xCx)薄膜与低折射率、高硬度的类金刚石(DLC)薄膜组成复合硬质保护薄膜。该复合薄膜膜系简单，工艺可操控性和稳定性强。通过在ZnS基底沉积复合硬质保护薄膜，可以极大改进ZnS基底的光学特性和机械特性。
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公开(公告)号：CN111090134B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201911146650.6
申请日：2019-11-21
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G02B1/115
Abstract: 本发明涉及一种硫系玻璃基底激光、中波红外、长波红外三谱段复合减反射薄膜及其制备方法，属于真空镀膜技术领域。本发明通过膜系设计、过渡层筛选及工艺优化等手段在硫系玻璃基底上实现1.064μm、3.7μm‑4.8μm及8μm‑12μm三谱段复合减反射薄膜制备。本发明两侧膜系为对称结构，两面的膜系结构基本形式均为：Sub/αH(βiMγiL)m/Air，其中H、M、L分别代表高折射率膜层、中折射率膜层和低折射率膜层，两侧膜层应力一致，有助于提高镀膜基片的面形质量及机械性能。
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公开(公告)号：CN106498351A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610959060.5
申请日：2016-11-03
Applicant: 天津津航技术物理研究所
CPC classification number: C23C14/0036 , C23C14/0635 , C23C14/221 , C23C14/3442
Abstract: 本发明公开了一种提高离子束反应溅射法制备碳化锗薄膜牢固度的方法，其包括以下步骤：S1：基片清洗；S2：预溅射，将清洗后的基片放入离子束溅射镀膜机内，以Ge作为靶材，CH4作为反应气体，用离子源对Ge靶材进行预溅射；S3：辅助离子源预轰击基片；S4：离子束反应溅射淀积Ge1-xCx薄膜，开启主离子源，向真空室通入反应气体CH4，进行Ge1-xCx薄膜淀积。本发明使用辅助离子源对基底进行预轰击，可以有效提高Ge1-xCx薄膜与基底之间的附着力，该工艺过程简单、有效、可靠。
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