公开(公告)号：CN104515639A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410500813.7

申请日：2014-09-26

申请人： 大陆汽车系统公司

发明人： J.P.王

IPC分类号： G01L9/06 ,  B81B7/00

CPC分类号： B81C3/007 ,  B81B2201/0264 ,  B81C3/005 ,  B81C2203/054 ,  B81C2203/055 ,  G01L19/148 ,  H01L29/84

摘要： 一种微机电压力传感器，其通过向基座的正方形顶面施加预定量的液体环氧树脂粘合剂并允许液体粘合剂本身分布在顶面上而在基座上而由硅管芯中心本身形成，该基座由金属或电介质形成。被放置到液体粘合剂上的MEMS管芯由于管芯的侧面与顶面之间的表面张力而在顶面上被置于中心。

公开(公告)号：CN104515639B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201410500813.7

申请日：2014-09-26

申请人： 大陆汽车系统公司

发明人： J.P.王

IPC分类号： G01L9/06 ,  B81B7/00

摘要： 一种微机电压力传感器，其通过向基座的正方形顶面施加预定量的液体环氧树脂粘合剂并允许液体粘合剂本身分布在顶面上而在基座上而由硅管芯中心本身形成，该基座由金属或电介质形成。被放置到液体粘合剂上的MEMS管芯由于管芯的侧面与顶面之间的表面张力而在顶面上被置于中心。