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公开(公告)号：CN1157103C
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN02109519.1
申请日：2002-04-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种新型的复合探针，用于高精度的、实时的与具有空间分辨力的等离子体参数测量，属于等离子体诊断技术领域。其特征在于将朗谬尔(Langmuir)单探针与差分发射探针集成安装在同一探针管内形成一种新型的复合探针，结合朗谬尔(Langmuir)单探针扫描电路、差分发射探针空间电位自动跟踪电路、矩形波脉冲发生电路、计算机接口电路与自动采集与分析数据的计算机软件，实现对等离子体参数的高精度实时测量。其特点是测量精度高、测量速度快、可获取等离子体参数时间与空间分布的信息，还可实时观察朗谬尔(Langmuir)单探针的伏安(V-I)特性曲线，广泛适用于等离子体的科学研究及等离子体的工业应用。
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公开(公告)号：CN100508102C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200610134481.0
申请日：2006-12-01
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01J37/244 , G01T1/29 , G01R19/00
Abstract: 本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法，用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏置信号，利用虚拟仪器代替常规的扫描信号发生器生成探针偏置信号并对探针的电压、电流信号进行采集和分析计算。本发明的效果和益处是不需要电流与电压信号采集同步，降低了对数据采集卡的要求；可通过多次采集提高数据的信噪比；更重要的是可以通过灵活地变更采样率克服等离子体波动的干扰，从而能够对波动的等离子体进行诊断。
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公开(公告)号：CN1170000C
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN01116734.3
申请日：2001-04-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明属于材料表面改性技术领域，特别涉及到磁控溅射沉积技术。该技术通过两个相对放置的ECR放电腔磁场线圈产生的磁场和平衡磁控靶磁场在沉积室叠加形成会切场磁场位型，该磁场位型有效地约束ECR放电和平衡磁控靶放电产生的等离子体，在薄膜生长表面形成高密度的离子、激活基团，通过控制基片位置、溅射偏压、沉积偏压等工艺参数，可调节各种反应基团的到达比及能量，从而得到符合化学配比的高纯度化合物薄膜。
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公开(公告)号：CN101354406A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810013244.8
申请日：2008-09-12
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明涉及到一种射频等离子体探针装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。其特征是由双探针、放大驱动电路、模数/数模转换卡和笔记本电脑构成；除置于等离子体中的双探针外，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统地；探针装置工作完全依靠装置中的笔记本电脑的电池供电。本发明的效果和益处是：不受射频信号干扰，不仅能够对单一射频放电等离子体进行诊断，而且能够对双频放电等离子体进行诊断；不需要射频扼流圈和辅助电极，探针尺寸小，能够诊断短间隙和小空间放电的等离子体，具有较高的空间分辨能力；使用模数/数模转换卡的模拟输出代替振荡电路或积分电路生成扫描偏置信号，便于根据需要灵活控制扫描偏置信号的波形、幅度和频率。
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公开(公告)号：CN1380811A
公开(公告)日：2002-11-20
申请号：CN02109519.1
申请日：2002-04-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种新型的复合探针,用于高精度的、实时的与具有空间分辨力的等离子体参数测量,属于等离子体诊断技术领域。其特征在于将朗谬尔(Langmuir)单探针与差分发射探针集成安装在同一探针管内形成一种新型的复合探针,结合朗谬尔(Langmuir)单探针扫描电路、差分发射探针空间电位自动跟踪电路、矩形波脉冲发生电路、计算机接口电路与自动采集与分析数据的计算机软件,实现对等离子体参数的高精度实时测量。其特点是测量精度高、测量速度快、可获取等离子体参数时间与空间分布的信息,还可实时观察朗谬尔(Langmuir)单探针的伏安(V－I)特性曲线,广泛适用于等离子体的科学研究及等离子体的工业应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101650230B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910306774.6
申请日：2009-09-09
Applicant: 大连理工大学 , 日新电机(大连)技术开发有限公司
Abstract: 本发明涉及到一种等离子体诊断用多功能探针，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。该多功能探针兼有单探针、双探针和三探针功能，探针电路在计算机软件控制下能够按照设定在单探针、双探针或三探针模式下进行工作，工作模式的切换由计算机指令控制继电器动作实现。本发明的效果和益处是：将单探针、双探针和三探针的功能集于一体，利用三种探针相互互补的优点弥补它们各自的局限性，从而能够不受放电形式制约广泛适用于各种等离子体诊断，并且具有快速诊断能力。
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公开(公告)号：CN101650230A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200910306774.6
申请日：2009-09-09
Applicant: 大连理工大学 , 日新电机(大连)技术开发有限公司
Abstract: 本发明涉及一种等离子体诊断用多功能探针，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。该多功能探针兼有单探针、双探针和三探针功能，探针电路在计算机软件控制下能够按照设定在单探针、双探针或三探针模式下进行工作，工作模式的切换由计算机指令控制继电器动作实现。本发明的效果和益处是：将单探针、双探针和三探针的功能集于一体，利用三种探针相互互补的优点弥补它们各自的局限性，从而能够不受放电形式制约广泛适用于各种等离子体诊断，并且具有快速诊断能力。
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公开(公告)号：CN1338530A
公开(公告)日：2002-03-06
申请号：CN01116734.3
申请日：2001-04-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明属于材料表面改性技术领域,特别涉及到磁控溅射沉积技术。该技术通过两个相对放置的ECR放电腔磁场线圈产生的磁场和平衡磁控靶磁场在沉积室叠加形成会切场磁场位型,该磁场位型有效地约束ECR放电和平衡磁控靶放电产生的等离子体,在薄膜生长表面形成高密度的离子、激活基团,通过控制基片位置、溅射偏压、沉积偏压等工艺参数,可调节各种反应基团的到达比及能量,从而得到符合化学配比的高纯度化合物薄膜。
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公开(公告)号：CN102209425B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110003263.4
申请日：2011-01-08
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明涉及到一种射频放电等离子体诊断装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断射频放电等离子体，能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。其特征是由探测器和伺服系统构成，其中，探测器由金属制成的探针、基电极和参考电极组成，基电极为环形，与所在位置放电电场的等势面平行放置，探针位于环形基电极的中心，参考电极可位于等离子体中的任何位置，基电极表面积大于探针表面积的300倍；伺服系统由计算机、数据采集卡、锯齿波发生器和接口电路构成，伺服系统不与放电设备共用电源，不与放电回路共地。锯齿波发生器产生的锯齿波扫描电压加在探针和基电极之间，探针的电位以参考电极的电位为参考计算。
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公开(公告)号：CN102209425A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110003263.4
申请日：2011-01-08
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明涉及到一种射频放电等离子体诊断装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断射频放电等离子体，能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。其特征是由探测器和伺服系统构成，其中，探测器由金属制成的探针、基电极和参考电极组成，基电极为环形，与所在位置放电电场的等势面平行放置，探针位于环形基电极的中心，参考电极可位于等离子体中的任何位置，基电极表面积大于探针表面积的300倍；伺服系统由计算机、数据采集卡、锯齿波发生器和接口电路构成，伺服系统不与放电设备共用电源，不与放电回路共地。锯齿波发生器产生的锯齿波扫描电压加在探针和基电极之间，探针的电位以参考电极的电位为参考计算。
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