公开(公告)号：CN100508102C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200610134481.0

申请日：2006-12-01

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 陆文琪 ,  邓新绿 ,  刘佳宏 ,  徐军 ,  董闯

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/29 ,  G01R19/00

Abstract: 本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法，用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏置信号，利用虚拟仪器代替常规的扫描信号发生器生成探针偏置信号并对探针的电压、电流信号进行采集和分析计算。本发明的效果和益处是不需要电流与电压信号采集同步，降低了对数据采集卡的要求；可通过多次采集提高数据的信噪比；更重要的是可以通过灵活地变更采样率克服等离子体波动的干扰，从而能够对波动的等离子体进行诊断。

公开(公告)号：CN1988106A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610134481.0

申请日：2006-12-01

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 陆文琪 ,  邓新绿 ,  刘佳宏 ,  徐军 ,  董闯

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/29 ,  G01R19/00

Abstract: 本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法，用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏置信号，利用虚拟仪器代替常规的扫描信号发生器生成探针偏置信号并对探针的电压、电流信号进行采集和分析计算。本发明的效果和益处是不需要电流与电压信号采集同步，降低了对数据采集卡的要求；可通过多次采集提高数据的信噪比；更重要的是可以通过灵活地变更采样率克服等离子体波动的干扰，从而能够对波动的等离子体进行诊断。

公开(公告)号：CN1525161A

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN03134019.9

申请日：2003-09-15

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 徐勇 ,  杨学锋 ,  朱爱民 ,  丁洪斌 ,  宋志民 ,  刘佳宏

IPC: G01N23/22 ,  H01J49/42

Abstract: 本发明属于等离子体诊断设备技术领域，提供了一种高气压等离子体的活性物种诊断仪的设计方法。其特征是将分子束采样技术与质谱技术相结合，采用三极分子泵差分抽气，同时采用两级液氮吸附泵进一步提高本底真空度，以减少活性物种的损耗，另外采用斩束技术，结合锁相放大器，提高了系统的信噪比。本发明的效果和益处是克服了常规质谱只能在低气压下对活性物种进行检测的缺点，具有工作气压范围宽，检测灵敏度高，可一次得到全谱图等优点。