一种用于超高功率脉冲非平衡磁控溅射的电源方法

    公开(公告)号:CN1948547A

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200610134219.6

    申请日:2006-11-06

    Abstract: 本发明公开发表了一种用于超高功率非平衡磁控溅射的电源方法,主要用于表面工程技术领域。其特征在于:采用球系开关组和脉冲形成线组控制和形成超高功率脉冲放电,实现超高功率的脉冲非平衡磁控溅射的溅射沉积;使用唯一的一个主电源系统供给多路脉冲形成线组和对应的球系开关组,为不同的非平衡磁控溅射靶供给高功率脉冲,实现扩展输出;同时实现微机智能控制,频率参数连续可调,能够防止过流、过压、过热的损害。本发明的优点是电源结构简单、电源稳定、控制方便、工作效率高、耐冲击、参数调节范围宽广、放电系统能够任意扩展,能够提高薄膜沉积过程中的等离子体离化率,从而达到增强薄膜和基体的结合强度、保证沉积工艺的目的。

    岩质边坡开挖扰动作用下的微震监测预警分析系统及方法

    公开(公告)号:CN105974469B

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201610505807.X

    申请日:2016-06-30

    Abstract: 本发明公开了一种岩质边坡开挖扰动作用下的微震监测预警分析系统及方法,该系统包括设置在边坡内部的信号接收单元、信号采集单元、信号存储和处理单元、分析和预警单元;信号接收单元用于接收开挖扰动作用下岩质边坡的微震信号,并发送给信号采集单元,信号采集单元用于对微震信号进行汇集,并发送给信号存储和处理单元,信号存储和处理单元用于对汇集后的信号进行存储和处理,并发送给分析和预警单元,分析和预警单元用于根据处理后的信号对岩质边坡的微破裂情况进行分析,并对岩质边坡的失稳灾害进行预警。本发明能够对开挖扰动作用下高陡岩质边坡微震活动进行实时监测和分析,并对边坡失稳灾害进行预警,工作效率高,成本低,应用前景广阔。

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