公开(公告)号：CN108018584B

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201711154700.6

申请日：2017-11-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 杜立群 ,  翟科 ,  王伟泰 ,  朱和卿 ,  赵文君 ,  赵雯

IPC: C25D1/00 ,  C25D5/20 ,  C25D21/10

Abstract: 本发明提供了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，将双向交替兆声波耦合进电铸过程中，该设备包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽。电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽一体的上盖板固定于水浴槽上。其中压电陶瓷组粘贴于电铸槽的两侧壁外，电铸槽为石英材质，且壁厚为所用兆声频率在石英中的半波长。压电陶瓷组通入兆声波信号，实现双向兆声振动的时间控制。兆声提高微电铸均匀性的方法是在基板上制作光刻胶微结构，实现胶膜图形化，并在电铸过程中施加双向交替的兆声波辐照。本发明的兆声电铸设备及方法操作简单易行，且能够有效的提高金属微电铸过程中铸层的均匀性。

公开(公告)号：CN108018584A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201711154700.6

申请日：2017-11-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 杜立群 ,  翟科 ,  王伟泰 ,  朱和卿 ,  赵文君 ,  赵雯

IPC: C25D1/00 ,  C25D5/20 ,  C25D21/10

Abstract: 本发明提供了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，将双向交替兆声波耦合进电铸过程中，该设备包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽。电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽一体的上盖板固定于水浴槽上。其中压电陶瓷组粘贴于电铸槽的两侧壁外，电铸槽为石英材质，且壁厚为所用兆声频率在石英中的半波长。压电陶瓷组通入兆声波信号，实现双向兆声振动的时间控制。兆声提高微电铸均匀性的方法是在基板上制作光刻胶微结构，实现胶膜图形化，并在电铸过程中施加双向交替的兆声波辐照。本发明的兆声电铸设备及方法操作简单易行，且能够有效的提高金属微电铸过程中铸层的均匀性。