公开(公告)号：CN104894498A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510312787.X

申请日：2015-06-09

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  王博 ,  段能东 ,  郭东明

IPC: C22F1/10

Abstract: 一种镍基合金纳米孪晶化超高硬度表面形成方法，属于镍基合金塑性成形技术领域。其特征是样品为镍基合金，采用超精密磨削和低碳钢抛光的方法制造亚微米曲率半径金刚石针尖，针尖的曲率半径为200-900nm，投影角度为90-150°，形状为三棱锥或四棱锥，将金刚石针尖安装于纳米压痕仪或显微硬度计上，进行压印，载荷为0.2-2N，表面的硬度较原合金可提高20-40倍，达到100-120GP，表面由纳米孪晶构成，纳米孪晶是由一个厚度≥15nm的孪晶片伴随一个或者几个

公开(公告)号：CN105463402A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510809908.1

申请日：2015-11-18

Applicant: 大连理工大学 ,  中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 张振宇 ,  王博 ,  段能东 ,  江南 ,  郭东明

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  C23C16/01 ,  C22F1/06 ,  C22F1/10 ,  C22F1/18

Abstract: 一种金刚石针尖阵列模板压印纳米孪晶化表面制造方法，属于纳米孪晶化表面制造技术领域。其特征是采用光刻技术在硅片表面刻蚀出倒金字塔坑阵列，作为金刚石针尖阵列生长的母版。采用微波等离子化学气相沉积方法生长带有均匀排列的金刚石针尖阵列的金刚石模板，用氢气和甲烷进行金刚石模板的生长。采用氢氟酸和硝酸的混合溶液刻蚀硅基板，形成金刚石针尖阵列模板，针尖的曲率半径为100-900nm，高度为18-30μm，长、宽和间距为几十个μm，金刚石针尖的尺寸和形状均匀一致，针尖阵列排列均匀。采用平方厘米量级的金刚石针尖阵列模板作为压印工具，工具或样品在X和Y方向作微米量级移动。本发明的效果和益处是实现了大面积纳米孪晶化表面制造方法。