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公开(公告)号：CN101413138B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200810013324.3
申请日：2008-09-20
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及微电铸金属模具的尺寸精度的控制方法。该方法包括掩膜版设计和模具制作工序，针对SU-8厚胶、图形密集、复杂的微电铸工艺，设计掩膜版时，在相对较窄的单个或多个相互独立的掩膜图形四周增设一条或多条相对较宽、封闭或不封闭且等间距或不等间距的隔离带，隔离带宽度的具体尺寸根据实际情况设计。针对掩膜图形相对较窄并呈中空结构的微电铸，在掩膜图形外围和中间对应增设一条或多条相对较宽、封闭或不封闭且等间距或不等间距的外隔离带和内隔离带。本方法改善了胶模的热溶胀性，阻止了隔离带外围胶模的热溶胀对铸层尺寸的影响，从而提高了微电铸镍铸层的尺寸精度。
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公开(公告)号：CN100561786C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200710158789.3
申请日：2007-12-04
申请人： 大连理工大学
CPC分类号： Y02P70/56
摘要： 本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层。所用材料为金属板，包括不锈钢、钛及其合金、铝合金、或铜及其合金。能加工微孔、微沟道、微突起结构，通过多次的光刻、蚀刻工艺，制作三维微细结构的金属流场板。采用此工艺制作的流场板具有电阻小、耐蚀、耐磨、无加工变质层、无切削残余应力、一致性好。微结构的最小线宽可以达到50μm，结合大尺幅光刻蚀刻技术，可以实现低成本，大批量生产。
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公开(公告)号：CN101388464A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810228041.0
申请日：2008-10-09
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01M8/00
摘要： 本发明一种压力与位移测控装置涉及一种测控装置，特别是用于质子交换膜燃料电池封装的压力与位移测控装置，尤其适于在监测电池性能参数的情况下，调节封装压力和位移，进行原位封装的装置。该装置包括方形移动支撑平台、矩形机架、动力施加部件、动力传递部件、导向部件、压力测量部件和压缩量测量部件。动力施加部件可采用手动加载或电动加载两种方式，采用手动加载方式时，包括加力手柄、手柄连接块、丝杠、丝杠螺母和压力调整部件，当采用电动加载方式，包括电动机、联轴器、丝杠、丝杠螺母和压力调整部件。本发明操作简单、测量可靠、实用性强，提高了封装和测试的精度及效率。
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公开(公告)号：CN101388464B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200810228041.0
申请日：2008-10-09
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01M8/00
摘要： 本发明一种压力与位移测控装置涉及一种测控装置，特别是用于质子交换膜燃料电池封装的压力与位移测控装置，尤其适于在监测电池性能参数的情况下，调节封装压力和位移，进行原位封装的装置。该装置包括方形移动支撑平台、矩形机架、动力施加部件、动力传递部件、导向部件、压力测量部件和压缩量测量部件。动力施加部件可采用手动加载或电动加载两种方式，采用手动加载方式时，包括加力手柄、手柄连接块、丝杠、丝杠螺母和压力调整部件，当采用电动加载方式，包括电动机、联轴器、丝杠、丝杠螺母和压力调整部件。本发明操作简单、测量可靠、实用性强，提高了封装和测试的精度及效率。
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公开(公告)号：CN101413138A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810013324.3
申请日：2008-09-20
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及微电铸金属模具的尺寸精度的控制方法。该方法包括掩膜版设计和模具制作工序，针对SU－8厚胶、图形密集、复杂的微电铸工艺，设计掩膜版时，在相对较窄的单个或多个相互独立的掩膜图形四周增设一条或多条相对较宽、封闭或不封闭且等间距或不等间距的隔离带，隔离带宽度的具体尺寸根据实际情况设计。针对掩膜图形相对较窄并呈中空结构的微电铸，在掩膜图形外围和中间对应增设一条或多条相对较宽、封闭或不封闭且等间距或不等间距的外隔离带和内隔离带。本方法改善了胶模的热溶胀性，阻止了隔离带外围胶模的热溶胀对铸层尺寸的影响，从而提高了微电铸镍铸层的尺寸精度。
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公开(公告)号：CN101222057A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710158789.3
申请日：2007-12-04
申请人： 大连理工大学
CPC分类号： Y02P70/56
摘要： 本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层。所用材料为金属板，包括不锈钢、钛及其合金、铝合金、或铜及其合金。能加工微孔、微沟道、微突起结构，通过多次的光刻、蚀刻工艺，制作三维微细结构的金属流场板。采用此工艺制作的流场板具有电阻小、耐蚀、耐磨、无加工变质层、无切削残余应力、一致性好。微结构的最小线宽可以达到50μm，结合大尺幅光刻蚀刻技术，可以实现低成本，大批量生产。
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