公开(公告)号：CN113418968A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202110609481.6

申请日：2021-06-01

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 张洪朋 ,  孙玉清 ,  郑文博 ,  李伟 ,  赵旭鹏 ,  张兴明 ,  李国宾 ,  王英新

IPC: G01N27/22 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明提供一种交叉电容式传感器、传感器的制作方法以及油液检测系统，其中交叉电容式传感器包括：基底，所述基底上凹刻有微流道，所述微流道的两端分别设置有注油口和出油口；以及交叉电容结构，所述交叉电容结构包括4块相同的弧面铜电极以及电极支撑结构，所述弧面铜电极均由同一筒状铜电极均匀切割而来，且贴敷于所述电极支撑结构内表面，拼接成电极间具有微小间隙的筒状结构；所述交叉电容结构部分嵌入基底，使得所述微流道从交叉电容结构内部轴向穿过。本发明可根据电极间介电常数的变化，检测出是否有颗粒经过，并可以通过电容变化值来对固体、液体和气体污染物进行区分检测，检测灵敏度高。

公开(公告)号：CN113418968B

公开(公告)日：2023-02-21

申请号：CN202110609481.6

申请日：2021-06-01

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 张洪朋 ,  孙玉清 ,  郑文博 ,  李伟 ,  赵旭鹏 ,  张兴明 ,  李国宾 ,  王英新

IPC: G01N27/22 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明提供一种交叉电容式传感器、传感器的制作方法以及油液检测系统，其中交叉电容式传感器包括：基底，所述基底上凹刻有微流道，所述微流道的两端分别设置有注油口和出油口；以及交叉电容结构，所述交叉电容结构包括4块相同的弧面铜电极以及电极支撑结构，所述弧面铜电极均由同一筒状铜电极均匀切割而来，且贴敷于所述电极支撑结构内表面，拼接成电极间具有微小间隙的筒状结构；所述交叉电容结构部分嵌入基底，使得所述微流道从交叉电容结构内部轴向穿过。本发明可根据电极间介电常数的变化，检测出是否有颗粒经过，并可以通过电容变化值来对固体、液体和气体污染物进行区分检测，检测灵敏度高。