公开(公告)号：CN100446177C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200610164290.9

申请日：2006-12-08

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平 ,  竹市芳邦 ,  山本悟史 ,  松本隆雄 ,  后藤正昭

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  B08B1/02 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置，能够减轻进行清洗时给基板表面所带来的损伤，同时能够确保充分的清洗功能。该装置具有：长状的清洗刷(221)，其具有由多根刷毛构成的毛束；搬送辊，其在与清洗刷(221)延伸的方向交叉的方向上，相对清洗刷(221)搬送基板(B)；支撑机构，其使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的前端(50H)朝向搬送辊的基板(B)搬送方向下游侧，且使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的侧面部(50F)接触于该基板的上表面的状态，从而支撑清洗刷(221)；处理液供给喷嘴(231)，其对于由支撑机构所支撑的清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)供给处理液。

公开(公告)号：CN1983516A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200610164290.9

申请日：2006-12-08

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平 ,  竹市芳邦 ,  山本悟史 ,  松本隆雄 ,  后藤正昭

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  B08B1/02 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置，能够减轻进行清洗时给基板表面所带来的损伤，同时能够确保充分的清洗功能。该装置具有：长状的清洗刷(221)，其具有由多根刷毛构成的毛束；搬送辊，其在与清洗刷(221)延伸的方向交叉的方向上，相对清洗刷(221)搬送基板(B)；支撑机构，其使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的前端(50H)朝向搬送辊的基板(B)搬送方向下游侧，且使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的侧面部(50F)接触于该基板的上表面的状态，从而支撑清洗刷(221)；处理液供给喷嘴(231)，其对于由支撑机构所支撑的清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)供给处理液。

公开(公告)号：CN1810389A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200610006315.2

申请日：2006-01-18

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川根旬平 ,  竹市芳邦

IPC: B08B7/00 ,  B08B3/04 ,  F25C1/00 ,  G02F1/13 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法以及基板处理装置，其在使用含有冰微粒子的处理液进行基板的处理时，可以不产生处理不均而进行均匀的处理，不损伤形成在基板上的被膜。此装置具有存积含有冰微粒子的处理液的清洗槽(10)，向清洗槽(10)内供给含有冰微粒子的处理液并使其在清洗槽内流动然后从清洗槽内排出的单元，以及将基板(W)向清洗槽(10)内搬入并在清洗槽内搬送然后从清洗槽内搬出的单元，在清洗槽(10)内让含有冰微粒子的处理液相对基板(W)进行相对流动，同时使其与基板的主面接触。

公开(公告)号：CN1810389B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200610006315.2

申请日：2006-01-18

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川根旬平 ,  竹市芳邦

IPC: B08B7/00 ,  B08B3/04 ,  F25C1/00 ,  G02F1/13 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法以及基板处理装置，其在使用含有冰微粒子的处理液进行基板的处理时，可以不产生处理不均而进行均匀的处理，不损伤形成在基板上的被膜。此装置具有存积含有冰微粒子的处理液的清洗槽(10)，向清洗槽(10)内供给含有冰微粒子的处理液并使其在清洗槽内流动然后从清洗槽内排出的单元，以及将基板(W)向清洗槽(10)内搬入并在清洗槽内搬送然后从清洗槽内搬出的单元，在清洗槽(10)内让含有冰微粒子的处理液相对基板(W)进行相对流动，同时使其与基板的主面接触。