公开(公告)号：CN100446177C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200610164290.9

申请日：2006-12-08

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平 ,  竹市芳邦 ,  山本悟史 ,  松本隆雄 ,  后藤正昭

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  B08B1/02 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置，能够减轻进行清洗时给基板表面所带来的损伤，同时能够确保充分的清洗功能。该装置具有：长状的清洗刷(221)，其具有由多根刷毛构成的毛束；搬送辊，其在与清洗刷(221)延伸的方向交叉的方向上，相对清洗刷(221)搬送基板(B)；支撑机构，其使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的前端(50H)朝向搬送辊的基板(B)搬送方向下游侧，且使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的侧面部(50F)接触于该基板的上表面的状态，从而支撑清洗刷(221)；处理液供给喷嘴(231)，其对于由支撑机构所支撑的清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)供给处理液。

公开(公告)号：CN1983516A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200610164290.9

申请日：2006-12-08

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平 ,  竹市芳邦 ,  山本悟史 ,  松本隆雄 ,  后藤正昭

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  B08B1/02 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置，能够减轻进行清洗时给基板表面所带来的损伤，同时能够确保充分的清洗功能。该装置具有：长状的清洗刷(221)，其具有由多根刷毛构成的毛束；搬送辊，其在与清洗刷(221)延伸的方向交叉的方向上，相对清洗刷(221)搬送基板(B)；支撑机构，其使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的前端(50H)朝向搬送辊的基板(B)搬送方向下游侧，且使清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)的侧面部(50F)接触于该基板的上表面的状态，从而支撑清洗刷(221)；处理液供给喷嘴(231)，其对于由支撑机构所支撑的清洗刷(221)的清洗刷毛束(50)供给处理液。

公开(公告)号：CN1812071A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200610051362.9

申请日：2006-01-05

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B08B3/02 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，用于减少设置所必需的占地面积，可以用简单的结构以倾斜姿态搬送基板，降低设备成本。搬送方向转换部(40)转换搬送方向，通过该倾斜搬送部(49)，在大致维持通过第一搬送路(41)的梯度而处于倾斜姿态的状态不变的条件下，将在第一处理部(20)实施处理后的基板搬送到第二搬送路(43)。液体供给部向由此倾斜搬送部(49)搬送的基板(B)的主面供给处理液。在第二搬送路(43)以及第二处理部(30)，使由倾斜搬送部(49)保持为倾斜姿态的基板，以原姿态在与第一处理部20相反方向上进行搬送和处理。

公开(公告)号：CN1812071B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200610051362.9

申请日：2006-01-05

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 小田裕史 ,  川根旬平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B08B3/02 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，用于减少设置所必需的占地面积，可以用简单的结构以倾斜姿态搬送基板，降低设备成本。搬送方向转换部(40)转换搬送方向，通过该倾斜搬送部(49)，在大致维持通过第一搬送路(41)的梯度而处于倾斜姿态的状态不变的条件下，将在第一处理部(20)实施处理后的基板搬送到第二搬送路(43)。液体供给部向由此倾斜搬送部(49)搬送的基板(B)的主面供给处理液。在第二搬送路(43)以及第二处理部(30)，使由倾斜搬送部(49)保持为倾斜姿态的基板，以原姿态在与第一处理部20相反方向上进行搬送和处理。