公开(公告)号：CN101047117A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710091936.X

申请日：2007-03-30

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 尾崎秀彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/30 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，在该基板处理装置的浓度测量部中，通过混合样品气体和氮气而对样品气体稀释，从而对稀释后的样品气体中所包含的IPA气体的浓度进行测量。并且，将所测量的浓度值(C1)和基于样品气体以及稀释气体的流量所得到的稀释率的倒数(1/P)相乘，而将稀释前的样品气体所包含的IPA气体的浓度(C0)设为C0＝C1×(1/P)而计算出。因此，即使在使用高浓度的IPA气体的情况下，也能够正确测量出IPA气体的浓度。

公开(公告)号：CN100505157C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200710091936.X

申请日：2007-03-30

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 尾崎秀彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/30 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，在该基板处理装置的浓度测量部中，通过混合样品气体和氮气而对样品气体稀释，从而对稀释后的样品气体中所包含的IPA气体的浓度进行测量。并且，将所测量的浓度值(C1)和基于样品气体以及稀释气体的流量所得到的稀释率的倒数(1/P)相乘，而将稀释前的样品气体所包含的IPA气体的浓度(C0)设为C0＝C1×(1/P)而计算出。因此，即使在使用高浓度的IPA气体的情况下，也能够正确测量出IPA气体的浓度。