公开(公告)号：CN101131545B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200710142398.2

申请日：2007-08-22

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 谷口慎也 ,  和田康之 ,  林秀树 ,  小八木康幸

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种即使不对对位摄像机使用高性能的驱动机构，在光照射部和对位摄像机的位置关系发生了变化时，也能够在基板上的正确的位置进行描画的图案描画装置以及对位方法。图案描画装置(1)检测出各对位摄像机(41～44)相对于从光学头(32)照射的脉冲光的相对位置的偏移量，并根据该偏移量来修正基板(9)的对位量以及基板(9)的描画开始位置。由此，即使从光学头(32)照射的脉冲光与各对位摄像机(41～44)的位置关系发生了变化，也可以在修正该变化量的同时进行描画处理。因此，图案描画装置(1)能够在基板(9)上的正确位置进行描画。

公开(公告)号：CN101131545A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200710142398.2

申请日：2007-08-22

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 谷口慎也 ,  和田康之 ,  林秀树 ,  小八木康幸

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种即使不对对位摄像机使用高性能的驱动机构，在光照射部和对位摄像机的位置关系发生了变化时，也能够在基板上的正确的位置进行描画的图案描画装置以及对位方法。图案描画装置(1)检测出各对位摄像机(41～44)相对于从光学头(32)照射的脉冲光的相对位置的偏移量，并根据该偏移量来修正基板(9)的对位量以及基板(9)的描画开始位置。由此，即使从光学头(32)照射的脉冲光与各对位摄像机(41～44)的位置关系发生了变化，也可以在修正该变化量的同时进行描画处理。因此，图案描画装置(1)能够在基板(9)上的正确位置进行描画。