细缝喷嘴和基板处理装置

    公开(公告)号:CN100400180C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200510055171.5

    申请日:2005-03-18

    Abstract: 一种细缝喷嘴,不受到各个细缝喷嘴的特性的影响,可使喷出口的开口间距均匀。在构成细缝喷嘴的第1主体部、第2主体部和垫板上设置有固定用螺纹孔组(第2螺纹孔组)、打开调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)和关闭调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)。将固定用螺栓拧入固定用螺纹孔组中,组装这些部件,然后,测定喷出口的开口间距。对应于该测定结果,在喷出口的开口间距窄于期望的值的位置,将调整螺钉拧入打开调整用螺纹孔组中,在大于期望的值的位置,将调整螺钉拧入关闭调整用螺纹孔组中。由此进行调整而使得喷出口的开口间距在Y轴方向上均匀化。

    细缝喷嘴和基板处理装置

    公开(公告)号:CN1669665A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510055171.5

    申请日:2005-03-18

    Abstract: 一种细缝喷嘴,不受到各个细缝喷嘴的特性的影响,可使喷出口的开口间距均匀。在构成细缝喷嘴的第1主体部、第2主体部和垫板上设置有固定用螺纹孔组(第2螺纹孔组)、打开调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)和关闭调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)。将固定用螺栓拧入固定用螺纹孔组中,组装这些部件,然后,测定喷出口的开口间距。对应于该测定结果,在喷出口的开口间距窄于期望的值的位置,将调整螺钉拧入打开调整用螺纹孔组中,在大于期望的值的位置,将调整螺钉拧入关闭调整用螺纹孔组中。由此进行调整而使得喷出口的开口间距在Y轴方向上均匀化。

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