公开(公告)号：CN1941314A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610127474.8

申请日：2006-09-15

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 奥野英治 ,  原孝志

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/67766 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/137

摘要： 本发明涉及一种基板处理装置，包括：盒体装载台；第一搬送机构，其具有相对被装载在该盒体装载台的盒体可进退的第一基板保持手部，用于通过该第一基板保持手部对上述盒体交接基板；基板处理部，其用于对基板实施处理；第二搬送机构，其具有相对上述第一搬送机构以及上述基板处理部可进退、并且以铅直轴为中心可旋转的第二基板保持手部，用于通过该第二基板保持手部对上述第一搬送机构以及上述基板处理部交接基板；移动机构，其用于沿盒体的排列方向使上述第一搬送机构移动；控制单元，其在上述第一搬送机构与多个盒体分别对置的位置，使在上述第一搬送机构和上述第二搬送机构之间的基板的交接进行。

公开(公告)号：CN100428439C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200610127474.8

申请日：2006-09-15

申请人： 大日本网目版制造株式会社

发明人： 奥野英治 ,  原孝志

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/67766 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/137

摘要： 本发明涉及一种基板处理装置，包括：盒体装载台；第一搬送机构，其具有相对被装载在该盒体装载台的盒体可进退的第一基板保持手部，用于通过该第一基板保持手部对上述盒体交接基板；基板处理部，其用于对基板实施处理；第二搬送机构，其具有相对上述第一搬送机构以及上述基板处理部可进退、并且以铅直轴为中心可旋转的第二基板保持手部，用于通过该第二基板保持手部对上述第一搬送机构以及上述基板处理部交接基板；移动机构，其用于沿盒体的排列方向使上述第一搬送机构移动；控制单元，其在上述第一搬送机构与多个盒体分别对置的位置，使在上述第一搬送机构和上述第二搬送机构之间的基板的交接进行。