公开(公告)号：CN101211758B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200710308111.9

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。反转单元包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。在反转单元中，背面清洗处理前的基板在由第一可动板的支承销和固定板的支承销保持的状态下被反转，背面清洗处理后的基板在由第二可动板的支承销和固定板的支承销保持的状态下被反转。

公开(公告)号：CN101872736A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN201010198915.X

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板承载架以及基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。

公开(公告)号：CN1819135A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610006956.8

申请日：2006-01-26

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/04

Abstract: 本发明提供一种能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器的基板处理装置。搬送机械手(130a)在加载端口(10)、第三装载部(150)、以及货架陈列(140)之间搬送FOUP(80)。中间隔着货架陈列(140)而配设在搬送机械手(130a)的相反侧的搬送机械手(130b)，在货架陈列(140)以及第二装载部(160)之间搬送FOUP(80)。在第三装载部(150)中，分别进行映射处理、以及将存放在FOUP(80)中的基板向基板处理装置(200)搬送的处理。由此，能够几乎同时进行多个搬送处理。另外，搬送机械手(130a、130b)能够在空间上互不干涉地执行FOUP(80)的搬送处理。

公开(公告)号：CN101872736B

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201010198915.X

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板承载架以及基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。

公开(公告)号：CN101211757B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200710305599.X

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎 ,  涩川润 ,  清川信治 ,  榑林知启

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  B08B3/00

CPC classification number: B08B3/04 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有分度器区以及处理区。多个表面清洗单元沿上下层叠配置在处理区的一方侧面侧，多个背面处理单元沿上下层叠配置在处理区的另一方侧面侧。在分度器区和处理区之间，上下设置有用于使基板(W)反转的反转单元。例如，反转单元用于使通过背面清洗单元进行背面清洗处理前的基板进行反转等，反转单元用于装载通过表面清洗单元进行表面清洗处理后的基板(W)等。

公开(公告)号：CN101211812B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200710308112.3

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  B65G47/248 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  B08B3/00

CPC classification number: B65G49/067 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/68714

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。反转装置包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。第一可动板与固定板之间的距离以及第二可动板与固定板之间的距离设定得与搬入搬出基板的主机械手的两个手部的高度差大致相等。

公开(公告)号：CN101246812A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200810005675.X

申请日：2008-02-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎 ,  涩川润 ,  清川信治 ,  榑林知启

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B08B3/00 ,  G03F1/00 ,  G02F1/1333 ,  G11B7/26

Abstract: 本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置。该基板处理装置由互相并列而设置的分度器区、第一处理区以及第二处理区构成。在分度器区设置有分度器机械手。在第一处理区设置有多个背面清洗单元以及第一主机械手。在第二处理区设置有多个端面清洗单元、多个表面清洗单元以及第二主机械手。

公开(公告)号：CN101221918A

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200710305600.9

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。

公开(公告)号：CN101211812A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200710308112.3

申请日：2007-12-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  B65G47/248 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  B08B3/00

CPC classification number: B65G49/067 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/68714

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。反转装置包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。第一可动板与固定板之间的距离以及第二可动板与固定板之间的距离设定得与搬入搬出基板的主机械手的两个手部的高度差大致相等。

公开(公告)号：CN101246813B

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200810005676.4

申请日：2008-02-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B08B3/00 ,  G03F1/00 ,  G02F1/1333 ,  G11B7/26

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。在处理区设置有多个背面清洗单元及主机械手。主机械手设置在配设在处理区一侧的侧面的背面清洗单元与配设在处理区另一侧的侧面的背面清洗单元之间。在分度器区与处理区之间，上下邻接的方式设置有使基板翻转的翻转单元、及在分度器机械手与主机械手交接基板的基板装载部。主机械手在多个背面清洗单元、基板装载部及翻转单元之间搬运基板。