公开(公告)号：CN108884553A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021664.8

申请日：2017-03-29

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 武田裕正 ,  荒木亘 ,  坂口一哉 ,  大藤克子 ,  户塚巡 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C22C14/00 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的钛合金覆膜由(Ti1‑aMoa)1‑xNx表示，满足0.04≤a≤0.32和0.40≤x≤0.60，并且硬度满足至少3000HV的条件。本发明的钛合金靶材由Ti1‑aMoa表示，满足0.04≤a≤0.32，并且当在靶材的表面处测定X射线衍射图时，未检测到由Mo的单一金属相产生的衍射峰强度。

公开(公告)号：CN108884553B

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201780021664.8

申请日：2017-03-29

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 武田裕正 ,  荒木亘 ,  坂口一哉 ,  大藤克子 ,  户塚巡 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C22C14/00 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的钛合金覆膜由(Ti1‑aMoa)1‑xNx表示，满足0.04≤a≤0.32和0.40≤x≤0.60，并且硬度满足至少3000HV的条件。本发明的钛合金靶材由Ti1‑aMoa表示，满足0.04≤a≤0.32，并且当在靶材的表面处测定X射线衍射图时，未检测到由Mo的单一金属相产生的衍射峰强度。