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公开(公告)号：CN118073215A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410027344.5
申请日：2024-01-09
Applicant: 复旦大学宁波研究院
IPC: H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明属于半导体制造技术领域，具体为一种原位退火多功能测试系统。本发明系统包括石英管式炉、可动样品平台组件、光源、电子束发射枪、电子探测组件、退火气氛源组件、电子信号探测组件、真空泵和数据处理组件；管式炉外侧设置有加热套；管式炉腔体内设置有样品平台，用于放置待表征的样品和用于空白对照单质铂片；管式炉设置光入射口和电子束入射口以及电子探测的出射口，正对样平台上待测样品；退火气氛源组件提供退火气氛；真空泵对管式炉腔体抽真空，数据处理组件收集电子探测组件信号用于数据处理；本发明可在退火过程中实现原位监测，在样品退火的不同时间点对样品进行非破坏性观测和实验，保证样品退火时原位表征的可靠性。
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