公开(公告)号：CN108931323A

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201810413515.2

申请日：2018-05-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 朱国栋 ,  许凡 ,  王丛欢

IPC: G01L1/16 ,  B29C69/02 ,  C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/20

Abstract: 本发明属于传感技术领域，具体为一种兼有动态和静态力监测功能的驻极体晶体管力传感器及其制备方法。本发明的驻极体晶体管力传感器由驻极体材料、半导体材料构成，驻极体在外力作用下形变，导致极化状态的改变，从而进一步导致源漏电流的改变；通过对源漏电流的检测，实现对静态力和动态力的监测。本发明解决了通常压电驻极体电容难以实现(准)静态力监测的问题；其制备方法简单，灵敏度高，可广泛应用于各类具有力监测/检测需求的领域中。

公开(公告)号：CN112885722A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202110027507.6

申请日：2021-01-10

Applicant: 复旦大学 ,  橙河微系统科技(上海)有限公司

Inventor： 朱国栋 ,  王丛欢 ,  陶鑫

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/336 ,  H01L29/40 ,  H01L29/417 ,  H01L29/10

Abstract: 本发明属于电子器件制备领域，具体为一种基于微区电化学刻蚀的晶体管沟道及源漏电极的制备方法。本发明方法结合电化学原理及微区自限域加工技术，具体利用装有电解液的微管在基底的特定区域形成一个弯液面，通过在电解液和基底导电金属层间施加电压并使针管相对基底按规划好的路径和速度移动来制备图案化的电极。本发明通过高效灵活地控制金属材料的微区电化学刻蚀，有效解决了现有掩模电极制造工艺（如光刻和真空蒸镀）中工艺复杂、成本高或分辨率低的问题，对实验室研究与工业生产具有重要意义。

公开(公告)号：CN111663121A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN202010409221.X

申请日：2020-05-15

Applicant: 复旦大学

Inventor： 朱国栋 ,  王丛欢

IPC: C23C18/16 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00

Abstract: 本发明属于仪器仪表技术领域，具体为一种基于化学镀工艺的金属微纳三维打印装置和方法。本发明装置由中空微管、固定支架、手动调节台、电控调节台、光学显微镜、电脑等组成。中空微管尖端直径决定了打印图案的线条精度。通过电脑控制电控位移台按照预设图案带动微管和试样表面间液柱的移动，实现图案的写入。本发明包括两种基于化学镀的金属微纳三维图案打印方法，一是先在试样表面上用敏化液直写出预设的微纳结构，然后用常规化学镀工艺实现金属层沉积；二是先在试样表面大面积沉积敏化层，然后将化学镀液直写到沉积有敏化层的试样表面，实现微纳结构的金属层沉积。