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公开(公告)号：CN108931323A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201810413515.2
申请日：2018-05-03
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于传感技术领域，具体为一种兼有动态和静态力监测功能的驻极体晶体管力传感器及其制备方法。本发明的驻极体晶体管力传感器由驻极体材料、半导体材料构成，驻极体在外力作用下形变，导致极化状态的改变，从而进一步导致源漏电流的改变；通过对源漏电流的检测，实现对静态力和动态力的监测。本发明解决了通常压电驻极体电容难以实现(准)静态力监测的问题；其制备方法简单，灵敏度高，可广泛应用于各类具有力监测/检测需求的领域中。
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