一种高可靠性碳化硅沟槽型超结MOSFET器件及制备方法

    公开(公告)号:CN119767764A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411961817.5

    申请日:2024-12-30

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 马宏平 丁成蹊

    Abstract: 本发明提供一种高可靠性碳化硅沟槽型超结MOSFET器件,包括:漏极、第一掺杂类型衬底、第一掺杂类型漂移区、第二掺杂类型超结区结构、氧化柱结构、第二掺杂类型阱区、栅极沟槽、虚栅沟槽、第一掺杂类型接触区、第二掺杂类型源区和源极。本发明具有优异的高电压承受能力和低导通电阻,能在高压、大功率应用中提供高效的开关性能。超结结构的设计降低了导通损耗,提高了工作效率。

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