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公开(公告)号：CN115699278A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180035695.5
申请日：2021-05-06
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 中泽伸一
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明涉及一种自动确定形成在晶圆、掩模、面板、基板等工件上的图案的尺寸等特征量的测量方案的方法。本方法基于在设计数据中定义的坐标系上的测量点(111)和CAD图案(101)的相对位置、以及CAD图案(101)的面积，确定CAD图案(101)的类型和测量方案，进行与CAD图案(101)对应的图像上的实际图案(121)和CAD图案(101)的对位，按照确定的测量方案测量实际图案(121)的特征量。
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