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公开(公告)号：CN111801764B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN201980016742.4
申请日：2019-03-01
Applicant: 塔斯米特株式会社
Abstract: 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。
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公开(公告)号：CN111902844B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN201980021715.6
申请日：2019-03-04
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 大家政洋
Abstract: 本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。
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公开(公告)号：CN113242956A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201980082059.0
申请日：2019-11-18
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 森泰平
Abstract: 本发明涉及用于进行设计数据上的图案与图像上的图案的对位的图像匹配处理，特别涉及使用通过机器学习构建的模型的图像匹配处理。本方法将设计数据上的指定的CAD图案转换为CAD图像(301)，将CAD图像(301)输入到通过机器学习构建的模型中，按照由模型定义的算法执行计算，由此从模型输出疑似图像(321)，从由图像生成装置(100)生成的图像上的多个图案中，确定具有与疑似图像(321)上的CAD图案(322)的形状最接近的形状的图案。
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公开(公告)号：CN111699540B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN201980011846.6
申请日：2019-01-18
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 久保田大辅
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。
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公开(公告)号：CN114945801A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202080092004.0
申请日：2020-12-10
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 冈本阳介
IPC: G01B15/04 , G01N23/2251 , G06T7/00 , G06T7/13
Abstract: 本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入至通过机器学习构建出的模型，从模型输出表示具有特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果，将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111919087B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201980022609.X
申请日：2019-03-12
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 金子功次
IPC: G01B15/04 , G01N23/2251 , G06T7/00 , G06T7/13 , H01L21/66
Abstract: 本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中示出的多个空间宽度对应的晶片图案的图像，计算所述图像上的所述晶片图案的边缘与对应的基准图案的边缘的偏离量，将根据所述多个空间宽度与所述边缘的偏离量而确定的多个数据点标绘在坐标系上，根据所述坐标系上的所述多个数据点而生成所述校正线。
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公开(公告)号：CN111919087A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201980022609.X
申请日：2019-03-12
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 金子功次
IPC: G01B15/04 , G01N23/2251 , G06T7/00 , H01L21/66
Abstract: 本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中示出的多个空间宽度对应的晶片图案的图像，计算所述图像上的所述晶片图案的边缘与对应的基准图案的边缘的偏离量，将根据所述多个空间宽度与所述边缘的偏离量而确定的多个数据点标绘在坐标系上，根据所述坐标系上的所述多个数据点而生成所述校正线。
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公开(公告)号：CN111902844A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201980021715.6
申请日：2019-03-04
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 大家政洋
Abstract: 本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。
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公开(公告)号：CN119234288A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202380040543.3
申请日：2023-04-26
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 森泰平
Abstract: 本发明涉及用于降低由扫描电子显微镜生成的图像上的噪声的图像噪声降低方法。本图像噪声降低方法是，利用所述扫描电子显微镜生成样品的基准图像，对所述基准图像添加人工噪声以生成人工噪声图像，并将以在扫描电子显微镜的电子束的扫描方向上拉伸人工噪声的方式构成的各向异性滤波器应用于人工噪声图像，由此生成人工低画质图像，通过使用包含基准图像和人工低画质图像的训练数据来执行机器学习，从而生成去噪模型，利用扫描电子显微镜生成成为半导体器件的检查和形状测量的对象的工件的图像，将工件的图像输入去噪模型，从去噪模型输出去噪图像。
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公开(公告)号：CN117063260A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024423.X
申请日：2022-03-17
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 金子功次
IPC: H01J37/22
Abstract: 本发明的方法中，决定工件的表面内的基准区域，根据基准区域内的图案的设计数据来计算基准区域的图案密度，决定多个调整区域，所述多个调整区域具有在规定范围内与计算出的图案密度近似的图案密度，借助扫描电子显微镜来生成基准区域的图像，借助扫描电子显微镜来生成多个调整区域中的一个调整区域的图像，以所述一个调整区域的图像的亮度的直方图与基准区域的图像的亮度的直方图的差减小的方式对用于调整所述一个调整区域的图像的亮度的参数的设定值进行调整，借助扫描电子显微镜来生成工件的表面内的多个中间区域的多个图像。
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