公开(公告)号：CN119422236A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202380049748.8

申请日：2023-06-16

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 三浦祐治

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/22

Abstract: 图案匹配方法根据设计数据计算多个检查区域(A1～A10)内的各个图案密度，根据该数值将图案密度分割为多个密度组(PG1～PG3)，通过扫描电子显微镜(1)生成多个检查区域的各自的图像，执行图像上的图案与CAD图案的图案匹配，根据图案匹配的结果，计算与多个检查区域(A1～A10)分别对应的多个图像偏移量，将多个检查区域(A1～A10)分割为与多个密度组(PG1～PG3)对应的多个区域组(AG1～AG3)，计算与多个区域组(AG1～AG3)分别对应的多个修正量(C1～C3)。

公开(公告)号：CN115380207A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202180026528.4

申请日：2021-04-09

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 三浦祐治

IPC: G01N23/2251 ,  G06T7/60 ,  G06V10/764 ,  G06V10/75 ,  G06F30/10 ,  H01L21/66

Abstract: 本方法对属于第1组的参考图案(210A)的宽度的测量值进行累计来确定第1累计值，对属于第2组的参考图案(210B)的宽度的测量值进行累计来确定第2累计值，实施第2区域的图像上的多个图案与对应的多个CAD图案的第2匹配，对属于第1组的图案(220A)的宽度的测量值进行累计来确定第3累计值，对属于第2组的图案(220B)的宽度的测量值进行累计来确定第4累计值，在第3累计值与第4累计值的大小关系和第1累计值与第2累计值的大小关系一致时，确定正确地进行了第2匹配。