公开(公告)号：CN1465094A

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：CN02802611.X

申请日：2002-06-07

Applicant: 埃姆科尔股份有限公司

Inventor： A·古拉里 ,  S·埃尔曼 ,  K·莫耶 ,  V·博古斯拉夫斯基

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4411 ,  C23C16/4401 ,  C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L27/1218 ,  H01L27/1274 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1296 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/66772 ,  H01L29/78654 ,  H01L29/78675

Abstract: 一用来生长外延层的反应器(120)包括一反应室(122)，该反应室具有用来将晶片载体(196)插入反应室和从反应室中取出的贯穿开口(144)。该反应器还包括一位于反应室(122)内的圆柱形百叶窗挡板(148)，用来有选择地关闭贯穿开口(144)。圆柱形百叶窗挡板(148)在关闭贯穿开(144)的第一位置和打开贯穿开口的第二位置之间移动。圆柱形百叶窗挡板(148)包括一适于接纳冷却液的内部腔(150)和用来将冷却液引导入内部腔(150)的管子(152)。管子(152)永久地固定在百叶窗挡板(148)上，并与其同步地移动。圆柱形百叶窗挡板(148)基本上包围晶片载体(196)的外周缘，由此，最大程度地减小反应气体的温度场和流场的不均匀性的特性。

公开(公告)号：CN1265432C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN02802611.X

申请日：2002-06-07

Applicant: 埃姆科尔股份有限公司

Inventor： A·古拉里 ,  S·埃尔曼 ,  K·莫耶 ,  V·博古斯拉夫斯基

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/00 ,  C30B25/08

CPC classification number: C23C16/4411 ,  C23C16/4401 ,  C30B25/08 ,  C30B25/10 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L27/1218 ,  H01L27/1274 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1296 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/66772 ,  H01L29/78654 ,  H01L29/78675

Abstract: 一用来生长外延层的反应器(120)包括一反应室(122)，该反应室具有用来将晶片载体(196)插入反应室和从反应室中取出的贯穿开口(144)。该反应器还包括一位于反应室(122)内的圆柱形百叶窗挡板(148)，用来有选择地关闭贯穿开口(144)。圆柱形百叶窗挡板(148)在关闭贯穿开口(144)的第一位置和打开贯穿开口的第二位置之间移动。圆柱形百叶窗挡板(148)包括一适于接纳冷却液的内部腔(150)和用来将冷却液引导入内部腔(150)的管子(152)。管子(152)永久地固定在百叶窗挡板(148)上，并与其同步地移动。圆柱形百叶窗挡板(148)基本上包围晶片载体(196)的外周缘，由此，最大程度地减小反应气体的温度场和流场的不均匀性的特性。