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公开(公告)号：CN106662810A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580047940.9
申请日：2015-07-24
Applicant: 国际商业机器公司 , 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供包含游离的光致产酸剂和与光致产酸部分共价结合的多官能聚合物的负性抗蚀剂组合物，其中所述组合物基本不含交联剂。还提供可与抗蚀剂组合物联合使用的多官能聚合物，以及使用本发明组合物和聚合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106662810B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201580047940.9
申请日：2015-07-24
Applicant: 国际商业机器公司 , 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供包含游离的光致产酸剂和与光致产酸部分共价结合的多官能聚合物的负性抗蚀剂组合物，其中所述组合物基本不含交联剂。还提供可与抗蚀剂组合物联合使用的多官能聚合物，以及使用本发明组合物和聚合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。
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公开(公告)号：CN104520383A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380029643.2
申请日：2013-06-21
Applicant: 国际商业机器公司 , 信越化学工业株式会社
IPC: C08L79/02
CPC classification number: G03F7/2059 , C08G73/0266 , C08L25/18 , C08L79/02 , C08L79/08 , C09D179/08 , G03F7/11 , G03F7/38 , H01B1/128 , C09D179/02
Abstract: 水分散性组合物包括：具有至少30,000的重均分子量的聚苯胺共聚物，和包含磺酸基团的聚合物型酸。所述聚苯胺共聚物包括i)基于所述聚苯胺共聚物中的重复单元的总摩尔数的约10摩尔％-约15摩尔％的含氟第一苯胺重复单元，和ii)不含氟的第二苯胺重复单元。所述聚合物型酸的磺酸基团以大于或等于所述聚苯胺共聚物的重复单元的总摩尔数的摩尔量存在。所述组合物具有至少0.0001S/cm的电导率。
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公开(公告)号：CN104520383B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380029643.2
申请日：2013-06-21
Applicant: 国际商业机器公司 , 信越化学工业株式会社
IPC: C08L79/02
CPC classification number: G03F7/2059 , C08G73/0266 , C08L25/18 , C08L79/02 , C08L79/08 , C09D179/08 , G03F7/11 , G03F7/38 , H01B1/128
Abstract: 水分散性组合物包括：具有至少30,000的重均分子量的聚苯胺共聚物，和包含磺酸基团的聚合物型酸。所述聚苯胺共聚物包括i)基于所述聚苯胺共聚物中的重复单元的总摩尔数的约10摩尔％‑约15摩尔％的含氟第一苯胺重复单元，和ii)不含氟的第二苯胺重复单元。所述聚合物型酸的磺酸基团以大于或等于所述聚苯胺共聚物的重复单元的总摩尔数的摩尔量存在。所述组合物具有至少0.0001S/cm的电导率。
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公开(公告)号：CN114496116B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202111239145.3
申请日：2021-10-25
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 通过接收与检测挥发性有机化合物(VOC)相关联的测试数据、根据与已知VOC相关联的数据特征的集合分析测试数据、确定测试数据的每个特征与数据特征的集合的对应特征之间的匹配、产生匹配的集合、根据匹配的集合定义测试数据的第一异常程度以及根据第一异常程度对测试数据进行分类来进行挥发性有机化合物分类。
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公开(公告)号：CN114496116A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111239145.3
申请日：2021-10-25
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 通过接收与检测挥发性有机化合物(VOC)相关联的测试数据、根据与已知VOC相关联的数据特征的集合分析测试数据、确定测试数据的每个特征与数据特征的集合的对应特征之间的匹配、产生匹配的集合、根据匹配的集合定义测试数据的第一异常程度以及根据第一异常程度对测试数据进行分类来进行挥发性有机化合物分类。
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