公开(公告)号：CN106662810B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201580047940.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 国际商业机器公司 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： R.苏里亚库马兰 ,  L.K.松德贝里 ,  M.I.桑切斯 ,  L.D.博扎诺 ,  D.P.桑德斯 ,  渡边聪 ,  增永惠一 ,  土门大将 ,  河合义夫

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038

Abstract: 提供包含游离的光致产酸剂和与光致产酸部分共价结合的多官能聚合物的负性抗蚀剂组合物，其中所述组合物基本不含交联剂。还提供可与抗蚀剂组合物联合使用的多官能聚合物，以及使用本发明组合物和聚合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。

公开(公告)号：CN106662810A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580047940.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 国际商业机器公司 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： R.苏里亚库马兰 ,  L.K.松德贝里 ,  M.I.桑切斯 ,  L.D.博扎诺 ,  D.P.桑德斯 ,  渡边聪 ,  增永惠一 ,  土门大将 ,  河合义夫

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038

Abstract: 提供包含游离的光致产酸剂和与光致产酸部分共价结合的多官能聚合物的负性抗蚀剂组合物，其中所述组合物基本不含交联剂。还提供可与抗蚀剂组合物联合使用的多官能聚合物，以及使用本发明组合物和聚合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。