公开(公告)号：CN100535678C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200380110686.X

申请日：2003-11-12

申请人： 国际商业机器公司

发明人： C·W·克莱因 ,  E·J·亚姆出克 ,  V·A·阿雷纳 ,  D·A·默特 ,  T·皮昆科 ,  B·J·沃斯金斯基 ,  C·J·亨德里克斯 ,  M·E·斯卡马 ,  R·S·小奥利亚 ,  A·哈尔珀林

IPC分类号： G01R31/06 ,  G01R31/305 ,  G03G15/00

CPC分类号： G01R31/2805 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/302

摘要： 一种用于在电子衬底(20)中的断路和短路的无接触电测试的方法和装置。将顶表面电测试部件(22)暴露于在环境条件下的电离源(10)并且通过与对应的底表面部件(23)接触的探针测量随后的电荷积累作为漏电流。通过漏电流的消失检测断路，并且通过关闭电离源(10)以及利用施加到阵列中每个探针的不同偏置再次测量底表面探针来检测短路。

公开(公告)号：CN1879026A

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200380110686.X

申请日：2003-11-12

申请人： 国际商业机器公司

发明人： C·W·克莱因 ,  E·J·亚姆出克 ,  V·A·阿雷纳 ,  D·A·默特 ,  T·皮昆科 ,  B·J·沃斯金斯基 ,  C·J·亨德里克斯 ,  M·E·斯卡马 ,  R·S·小奥利亚 ,  A·哈尔珀林

IPC分类号： G01R31/06 ,  G01R31/305 ,  G03G15/00

CPC分类号： G01R31/2805 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/302

摘要： 一种用于在电子衬底(20)中的断路和短路的无接触电测试的方法和装置。将顶表面电测试部件(22)暴露于在环境条件下的电离源(10)并且通过与对应的底表面部件(23)接触的探针测量随后的电荷积累作为漏电流。通过漏电流的消失检测断路，并且通过关闭电离源(10)以及利用施加到阵列中每个探针的不同偏置再次测量底表面探针来检测短路。