公开(公告)号：CN1914558A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200480041556.X

申请日：2004-02-11

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： W·M·莫罗 ,  M·安耶洛普洛斯 ,  黄武松 ,  D·R·梅代罗斯 ,  K·E·波得里洛

IPC: G03C1/73 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F1/78 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40 ,  Y10S430/143

Abstract: 通过使用结合包括室温固体碱和液体低蒸气压碱的碱添加剂，获得即使在困难的基材上也具有良好起脚性能的抗蚀剂组合物。该组合物尤其在金属基材如通常用于掩模制造的含铬层上有用。