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公开(公告)号:CN116569667A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202180081265.7
申请日:2021-11-18
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H10B63/10
Abstract: 一种半导体结构(100),包括:被第二电介质层(114)包围的加热器(116);在第二电介质层(114)的顶部上的投射衬垫(124);以及在投射衬垫(124)上方的相变材料层(126)。投射衬垫(124)的顶表面与加热器(116)的顶表面基本上齐平。投射衬垫(124)将相变材料层(126)与第二电介质层(114)分隔开。投射衬垫(124)可以在相变材料层(126)的结晶相(126a)和无定形相(126b)中提供平行的传导路径。半导体结构(100)可包括在加热器(116)下方并与加热器(116)电接触的底部电极(110)和在相变材料层(126)上方并与相变材料层(126)电接触的顶部电极(128)。
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公开(公告)号:CN118743333A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202380022859.X
申请日:2023-02-21
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 公开了一种相变存储器单元结构(100),其包括在底部电极(110)上方垂直对准的第一相变材料(PCM)层(112)、在第一PCM层上方垂直对准的介电层(120)、在介电层上方垂直对准的第二PCM层(130)和在第二PCM层上方垂直对准的顶部电极(132)。在介电层(120)内,形成物理且电连接到两个PCM层的内部电极或导电细丝(122)。
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公开(公告)号:CN116635937A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202180081316.6
申请日:2021-11-18
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G11C11/56
Abstract: 一种半导体结构(100),包括:由电介质层(114)包围的加热器(116);在加热器(116)的顶部部分上的投射衬垫(124);在投射衬垫(124)上方的相变材料层(126);以及包围相变材料层(126)的顶部的顶部电极触点(136)。投射衬垫可覆盖加热器(116)的顶表面。投射衬垫(124)可以将相变材料层(126)与第二电介质层和加热器(116)分隔开。投射衬垫(124)可以在相变材料层(126)的结晶相(126a)和无定形相(126b)中提供平行的传导路径。顶部电极触点(136)可以通过金属衬垫(134)与相变材料层(126)分隔开。半导体结构(100)可包括在加热器(116)下方并与加热器(116)电接触的底部电极(110)和在相变材料层(126)上方并与相变材料层(126)电接触的顶部电极(128)。
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