公开(公告)号：CN102473710A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080036668.1

申请日：2010-08-26

申请人： 国际商业机器公司

发明人： R·A·小布思 ,  D·D·库尔博 ,  E·E·亨 ,  何忠祥

IPC分类号： H01L27/108 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/768 ,  H01L21/3205 ,  H01L27/02

CPC分类号： H01L28/90 ,  H01L23/5223 ,  H01L28/86 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种叉指状结构，其可以包括：至少一个第一金属线；至少一个第二金属线，其与至少一个第一金属线平行并且与其分离；以及第三金属线，其与至少一个第一金属线的端部接触，并且与至少一个第二金属线分离。至少一个第一金属线并不与任何金属过孔竖直接触，而至少一个第二金属线可以与至少一个金属过孔竖直接触。多层的叉指状结构可以竖直地堆叠。备选地，叉指状结构可以包括多个第一金属线、多个第二金属线，每个金属线并不与任何金属过孔垂直接触。可以在旋转或者不旋转的情况下，使叉指状结构的多个实例横向地复制和结合，和/或竖直堆叠以形成电容器。

公开(公告)号：CN102473710B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201080036668.1

申请日：2010-08-26

申请人： 国际商业机器公司

发明人： R·A·小布思 ,  D·D·库尔博 ,  E·E·亨 ,  何忠祥

IPC分类号： H01L27/108 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/768 ,  H01L21/3205 ,  H01L27/02

CPC分类号： H01L28/90 ,  H01L23/5223 ,  H01L28/86 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种叉指状结构，其可以包括：至少一个第一金属线；至少一个第二金属线，其与至少一个第一金属线平行并且与其分离；以及第三金属线，其与至少一个第一金属线的端部接触，并且与至少一个第二金属线分离。至少一个第一金属线并不与任何金属过孔竖直接触，而至少一个第二金属线可以与至少一个金属过孔竖直接触。多层的叉指状结构可以竖直地堆叠。备选地，叉指状结构可以包括多个第一金属线、多个第二金属线，每个金属线并不与任何金属过孔垂直接触。可以在旋转或者不旋转的情况下，使叉指状结构的多个实例横向地复制和结合，和/或竖直堆叠以形成电容器。