一种非本征法珀光纤传感探头腔长一致性装调系统及方法

    公开(公告)号:CN114777833B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202210466280.X

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 本发明属于光纤传感器技术领域,涉及一种非本征法珀光纤传感探头腔长一致性装调系统,包括:宽带光源,光谱采集器件,数据处理计算模块,耦合器,光纤连接器,固定支架,微调支架,夹紧装置,待装调法珀传感器,点胶固定点;宽带光源与光谱采集器件光路并联后经耦合器接入光纤连接器,光纤连接器的另一端连接至待装调法珀传感器;本发明通过搭建整体系统,借助光谱仪直接获取传感器干涉信号,并通过数据处理计算模块反向计算实时解析当前实际腔长值,本发明解决了现有技术中采用机械微调读取,由于机械工装自身的精度极限原因,限制了装调的整体精度,以及现有技术中通过光功率计获取传感器返回光信号强度,判断耦合状态,精度不高的问题。

    一种基于硅基刻蚀的光纤微压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117760618A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311773082.9

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明涉及一种光纤微压力传感器,为解决现有“硅片+玻璃基板”型结构的光纤微压力传感器存在的耦合距离远、信噪比低、成品率低,或是加工难度大的问题,而提供一种基于硅基刻蚀的光纤微压力传感器及其制备方法。本发明包括光纤、具有检测端和尾端的基片以及设置在基片检测端的薄膜片,其中基片尾端设置有光纤安装孔;其中基片为圆柱结构,圆柱结构的两端分别为检测端和尾端;光纤的端部嵌入光纤安装孔内;光纤位于基片尾端外部的裸露部分与基片尾端的端面之间设置有固化胶;基片检测端的端部设置有台阶孔,台阶孔的小端与光纤安装孔连通;薄膜片覆盖于台阶孔的大端外侧;台阶孔的小端直径小于光纤的直径。

    一种半导体晶圆光纤测温装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN115127692A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210912177.3

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明属于光纤测温技术领域,涉及一种半导体晶圆光纤测温装置及其制备方法,包括:螺纹套筒、光纤头套管、限位弹簧、光纤、光纤内套管;光纤头套管伸入螺纹套筒内并压缩限位弹簧,光纤内套管顶紧光纤头套管的尾部端面,光纤头部伸出光纤头套管并与光纤头套管的头部端面平齐,光纤的尾部伸出螺纹套筒的尾部端面;本发明通过采用荧光测温代替了热电偶测温,无需进行热电偶电压转换,变间接测量为直接测量,因此避免了信号调理引起的误差引入;同时本发明荧光测温精度可达到±0.15℃,因此本发明具有更小的误差和更高的精度,而且本发明耐腐蚀、抗噪性好。

    用于光纤传感器封装的高精密多维调节对位系统及方法

    公开(公告)号:CN113776689B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202111014920.5

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明提供一种用于光纤传感器封装的高精密多维调节对位系统及方法,解决现有半导体晶片与光纤耦合,存在晶片易划伤、镀膜面易翻转、表面易附着脏污、夹取后较难放下,对位调节耗时长的问题。系统包括光学平台、晶片吸附料盒、光纤夹持组件、显示单元、光谱监测单元、设在光学平台上的第一调节基座和第二调节基座、设在第一调节基座上的第一相机组件、设在第二调节基座上的第二相机组件;晶片吸附料盒设在光学平台上;光纤夹持组件通过三维调节架设在光学平台上;晶片吸附料盒上表面所在平面为XY平面;显示单元包括分别与第一、第二相机组件相连的X‑Z显示界面和Y‑Z显示界面;光谱监测单元包括信号耦合监测模块和与信号耦合监测模块相连的上位机。

    一种GIS内部多谱段光学成像检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN115184752A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210908945.8

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明属于光纤测温技术领域,涉及一种GIS内部多谱段光学成像检测装置及其检测方法,包括:三个成像子系统,每个成像子系统包括前置物镜、传像光纤、成像CCD,前置物镜通过传像光纤连接至成像CCD,物镜均伸入GIS设备的内腔;本发明通过三个成像子系统对GIS设备内部的硬件状态、内部绝缘缺陷分别进行紫外光、可见光和红外光成像,然后将紫外光、可见光和红外光成像进行多谱段图像融合,三者融合得以实现局部放电位置与放电强度的定性定量检测,因此本发明能够对直接在设备内部对GIS设备内部早期出现的绝缘缺陷、故障及时发现及时监测,因此本发明检测更加直接、更加有效且能够及时发现现有技术中无法检测的早期故障。

    一种非本征法珀光纤传感探头腔长一致性装调系统及方法

    公开(公告)号:CN114777833A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210466280.X

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 本发明属于光纤传感器技术领域,涉及一种非本征法珀光纤传感探头腔长一致性装调系统,包括:宽带光源,光谱采集器件,数据处理计算模块,耦合器,光纤连接器,固定支架,微调支架,夹紧装置,待装调法珀传感器,点胶固定点;宽带光源与光谱采集器件光路并联后经耦合器接入光纤连接器,光纤连接器的另一端连接至待装调法珀传感器;本发明通过搭建整体系统,借助光谱仪直接获取传感器干涉信号,并通过数据处理计算模块反向计算实时解析当前实际腔长值,本发明解决了现有技术中采用机械微调读取,由于机械工装自身的精度极限原因,限制了装调的整体精度,以及现有技术中通过光功率计获取传感器返回光信号强度,判断耦合状态,精度不高的问题。

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