一种基于硅基刻蚀的光纤微压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117760618A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311773082.9

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明涉及一种光纤微压力传感器,为解决现有“硅片+玻璃基板”型结构的光纤微压力传感器存在的耦合距离远、信噪比低、成品率低,或是加工难度大的问题,而提供一种基于硅基刻蚀的光纤微压力传感器及其制备方法。本发明包括光纤、具有检测端和尾端的基片以及设置在基片检测端的薄膜片,其中基片尾端设置有光纤安装孔;其中基片为圆柱结构,圆柱结构的两端分别为检测端和尾端;光纤的端部嵌入光纤安装孔内;光纤位于基片尾端外部的裸露部分与基片尾端的端面之间设置有固化胶;基片检测端的端部设置有台阶孔,台阶孔的小端与光纤安装孔连通;薄膜片覆盖于台阶孔的大端外侧;台阶孔的小端直径小于光纤的直径。

    一种光纤法珀传感器腔长的双折射晶体解调系统及方法

    公开(公告)号:CN115900788A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211667875.8

    申请日:2022-12-23

    Abstract: 本发明涉及法珀传感器腔长的解调系统及方法,具体涉及一种光纤法珀传感器腔长的双折射晶体解调系统及方法,用于解决传统的光纤法珀传感器空间扫描型低相干干涉解调系统中,光线经过光纤准直器和柱透镜形成线性出射光斑,光强呈不均匀的高斯分布,导致解调难度加大,限制了解调系统的解调范围和精度,同时,准直器的口径受限于柱透镜和线阵CCD的尺寸,解调系统难以实现小型化且装调步骤多、难度大的不足之处。该光纤法珀传感器腔长的双折射晶体解调系统采用LED光源,相比ASE等宽带光源,带宽较窄,同时采用双折射晶体和线栅偏振片直接作为起偏和检偏器件进行强度调节,可显著提高干涉条纹对比度,进而获得较高的解调精度。

Patent Agency Ranking