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公开(公告)号：CN106597016B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN201611196565.7
申请日：2016-12-22
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 本发明公开了一种电容式MEMS双轴加速度计，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过绝缘层固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠梁，每对折叠梁的中线正交，折叠梁的一端与固定框架连接，折叠梁的另一端与敏感质量块连接；敏感质量块四周分布有多个梳齿组合，梳齿组合包括：固定梳齿和可动梳齿，固定梳齿一端与固定框架连接，可动梳齿一端与敏感质量块连接，实现了电容式MEMS双轴加速度计灵敏度高、正交误差小的技术效果。
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公开(公告)号：CN110095632A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910458116.2
申请日：2019-05-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13
摘要： 本发明公开了一种基于零位校正的MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
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公开(公告)号：CN109946482A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910262367.3
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08
摘要： 本发明公开了一种高信噪比的三明治式微加速度计，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块；在很大程度上降低器件上、下电极结构层与中间电极结构层的寄生电容值，在极板间隙相同情况下，这将明显的提升三明治式微加速度计的信噪比特性。
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公开(公告)号：CN109946481A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910261787.X
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B7/02 , B81B7/00
摘要： 本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。
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公开(公告)号：CN107132372A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710517283.0
申请日：2017-06-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/26
CPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/2605
摘要： 本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。
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公开(公告)号：CN106970244A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710252303.6
申请日：2017-04-18
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , G01P1/00
CPC分类号： G01P15/125 , G01P1/00 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P2015/0862
摘要： 本发明公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多个可动平衡梳齿；多个固定平衡梳齿与多个可动平衡梳齿分别组成4组平衡梳齿对，分别构成：第一静电力矩器、第二静电力矩器、第三静电力矩器，可实现小中高多量程的应用，线性度好，灵敏度高，芯片尺寸小，易加工，制造成本低的技术效果。
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公开(公告)号：CN109946481B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910261787.X
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B7/02 , B81B7/00
摘要： 本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。
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公开(公告)号：CN110095632B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201910458116.2
申请日：2019-05-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13
摘要： 本发明公开了一种基于零位校正的MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
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公开(公告)号：CN108507555B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201810337150.X
申请日：2018-04-16
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01C19/5621
摘要： 本发明公开了一种MEMS微机械全解耦闭环陀螺仪，包括：衬底、敏感器件层、衬底与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：第一子结构、第二子结构、耦合连接梁；第一子结构、第二子结构均包括：驱动框架、驱动折叠梁、驱动解耦梁、哥氏质量块、检测框架、检测梁、检测解耦梁、驱动固定梳齿、驱动可动梳齿、驱动检测固定梳齿、驱动检测可动梳齿、检测固定梳齿、检测可动梳齿、力反馈固定梳齿、力反馈可动梳齿、锚点；抑制正交误差信号的产生，提高微机械陀螺仪器件的零偏稳定性指标，同时设计结构紧凑，芯片面积小，可防止检测模态敏感质量块因较大位移而发生扭转，整体线性度好，测量精度高。
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公开(公告)号：CN109945850B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201910261769.1
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01C19/5621
摘要： 本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。
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