发明公开
- 专利标题: 一种基于零位校正的MEMS加速度计
- 专利标题(英): Zero position correction-based MEMS accelerometer
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申请号: CN201910458116.2申请日: 2019-05-29
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公开(公告)号: CN110095632A公开(公告)日: 2019-08-06
- 发明人: 雷龙海 , 周骏 , 王龙峰 , 王志 , 山永启
- 申请人: 四川知微传感技术有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层
- 专利权人: 四川知微传感技术有限公司
- 当前专利权人: 四川知微传感技术有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层
- 代理机构: 成都行之专利代理事务所
- 代理商 熊曦
- 主分类号: G01P15/08
- IPC分类号: G01P15/08 ; G01P15/125 ; G01P15/13
摘要:
本发明公开了一种基于零位校正的MEMS加速度计,包括:基片,基片上设有氧化层,若干个锚点通过氧化层固定在基片上,氧化层上设有敏感器件层,敏感器件层包括:差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构;通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题,消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
公开/授权文献
- CN110095632B 一种基于零位校正的MEMS加速度计 公开/授权日:2024-04-05
IPC分类: