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公开(公告)号：CN101438091B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN101438091A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN101023290A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031563.6
申请日：2005-09-05
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0807 , Y10T29/49405 , Y10T137/2587
Abstract: 本发明提供了一种流程块，其压力损失得以减小，并且可以形成超长流程，而且其重量可以减轻。还提供了生产这种流程块的方法。流程块(1)具有块体(11)和盖子元件(12)，该块体内形成有通孔(21)和与该通孔(21)相通的凹槽(22)，盖子元件(12)盖住该凹槽(22)。用切削工具调节凹槽(22)的深度和宽度可以减小压力损失，用切削工具形成更长的凹槽(22)并用盖子元件(12)盖住凹槽(22)可以形成超长流程，因为可以用切削工具自由地形成凹槽(22)，因此可以形成复杂流程，并且可以减小块体(11)的厚度以减轻其重量。
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公开(公告)号：CN302504919S
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201330020217.5
申请日：2013-01-10
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品名称为液体控制装置汽化器用汽化用具。2.本外观设计产品是用在半导体制造设备中的液体控制装置汽化器用汽化用具，用于控制液体的汽化和扩散。本产品由弹性金属网重叠而成。在使用时，本产品紧贴在汽化器的液体供给表面，如设计1使用状态参考图和设计2使用状态参考图中的箭头所示。3.本外观设计的设计要点：重叠的弹性金属网以及金属网前侧的板。4.本外观设计包括二项相似外观设计，设计1为基本设计。5.设计1立体图为本外观设计的代表图。6.各设计的左视图与右视图对称，省略各设计的左视图；各设计的仰视图与俯视图对称，省略各设计的仰视图。
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