公开(公告)号：CN101767992A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN201010032467.6

申请日：2010-01-14

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 施云波 ,  荣鹏志 ,  修德斌 ,  冯侨华 ,  赵文杰

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 溶胶凝胶法制备Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体，它涉及一种制备无铅压电陶瓷纳米粉体的方法。本发明解决了传统固相烧结法制得的粉体粒径分布范围宽、纯度低、掺杂元素不均匀、活性低、性能不稳定的问题。方法：一、称取原料；二、制备混合溶液；三、制备凝胶；四、经真空干燥、烧结即得到Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体。本发明方法制作得到的Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体粒径分布范围小、纯度高、掺杂元素均匀、活性高、性能稳定。

公开(公告)号：CN101777884B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200910312591.5

申请日：2009-12-30

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 施云波 ,  荣鹏志 ,  修德斌 ,  冯侨华 ,  赵文杰

IPC: H03H9/25

Abstract: 叠片式微电子机械系统压电振子的制造方法，它涉及一种微电子机械系统压电振子的制造方法。它解决了现有的微电子机械系统压电振子无法解决其微驱动组装的多层片式结构和优化、以及无法满足微电子机械系统集成化、小型化要求的问题。它的步骤是：步骤一、对铍青铜基片进行热处理；步骤二、在陶瓷片的上下表面溅射铜膜并进行热处理；步骤三、对步骤二处理后的陶瓷片做极化处理；步骤四、将步骤三处理后的陶瓷片陈化放置后采用超声波清洗；步骤五、将清洗后的压电陶瓷片按照一定的结构设计固定在铍青铜基片的上、下表面上。本发明适用于主动振动控制、强振隔离体、航空航天、机器人、动力机械等多领域的驱动场合。

公开(公告)号：CN101767994A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN201010032479.9

申请日：2010-01-18

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 施云波 ,  荣鹏志 ,  修德斌 ,  赵文杰 ,  冯侨华

IPC: C04B35/491 ,  C04B35/626

Abstract: 一种改性锆钛酸铅压电陶瓷粉体的制备方法，它涉及一种压电陶瓷粉体的制备方法。本发明解决了现有固相合成法制备压电陶瓷粉体存在化学配比不能精确控制、粉体活性低、所需烧结温度高、材料均匀性差的问题。方法：一、取Pb(Ac)2·3H2O、TiCl4、MnCl2、NiCl2·6H2O和ZrOCl2·8H2O的可溶性盐溶液混合并搅拌，得混合溶液；二、向混合溶液中加入Sb2O3并搅拌，得悬浊液；三、向悬浊液中加入氨水，得氢氧化物胶体，离心后弃上清液，清洗沉淀，干燥后研磨，得微粉；四、微粉烧结后即得改性锆钛酸铅压电陶瓷粉体。本发明各元素配比得到了精确控制，反应在低温下进行，粉体活性高，粉体均匀性好。

公开(公告)号：CN101767994B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201010032479.9

申请日：2010-01-18

Applicant: 哈尔滨理工大学 ,  哈尔滨源创微纳科技开发有限公司

Inventor： 施云波 ,  冯侨华 ,  修德斌 ,  赵文杰 ,  何梦资 ,  荣鹏志

IPC: C04B35/491 ,  C04B35/626

Abstract: 一种改性锆钛酸铅压电陶瓷粉体的制备方法，它涉及一种压电陶瓷粉体的制备方法。本发明解决了现有固相合成法制备压电陶瓷粉体存在化学配比不能精确控制、粉体活性低、所需烧结温度高、材料均匀性差的问题。方法：一、取Pb(Ac)2·3H2O、TiCl4、MnCl2、NiCl2·6H2O和ZrOCl2·8H2O的可溶性盐溶液混合并搅拌，得混合溶液；二、向混合溶液中加入Sb2O3并搅拌，得悬浊液；三、向悬浊液中加入氨水，得氢氧化物胶体，离心后弃上清液，清洗沉淀，干燥后研磨，得微粉；四、微粉烧结后即得改性锆钛酸铅压电陶瓷粉体。本发明各元素配比得到了精确控制，反应在低温下进行，粉体活性高，粉体均匀性好。

公开(公告)号：CN101767992B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201010032467.6

申请日：2010-01-14

Applicant: 哈尔滨理工大学 ,  哈尔滨源创微纳科技开发有限公司

Inventor： 施云波 ,  冯侨华 ,  修德斌 ,  赵文杰 ,  何梦资 ,  荣鹏志

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 一种溶胶凝胶法制备Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体的方法，它涉及一种制备无铅压电陶瓷纳米粉体的方法。本发明解决了传统固相烧结法制得的粉体粒径分布范围宽、纯度低、掺杂元素不均匀、活性低、性能不稳定的问题。方法：一、称取原料；二、制备混合溶液；三、制备凝胶；四、经真空干燥、烧结即得到Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体。本发明方法制作得到的Zr(BiNa)BaTiO无铅压电陶瓷纳米粉体粒径分布范围小、纯度高、掺杂元素均匀、活性高、性能稳定。

公开(公告)号：CN101777884A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200910312591.5

申请日：2009-12-30

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 施云波 ,  荣鹏志 ,  修德斌 ,  冯侨华 ,  赵文杰

IPC: H03H9/25

Abstract: 叠片式微电子机械系统压电振子的制造方法，它涉及一种微电子机械系统压电振子的制造方法。它解决了现有的微电子机械系统压电振子无法解决其微驱动组装的多层片式结构和优化、以及无法满足微电子机械系统集成化、小型化要求的问题。它的步骤是：步骤一、对铍青铜基片进行热处理；步骤二、在陶瓷片的上下表面溅射铜膜并进行热处理；步骤三、对步骤二处理后的陶瓷片做极化处理；步骤四、将步骤三处理后的陶瓷片陈化放置后采用超声波清洗；步骤五、将清洗后的压电陶瓷片按照一定的结构设计固定在铍青铜基片的上、下表面上。本发明适用于主动振动控制、强振隔离体、航空航天、机器人、动力机械等多领域的驱动场合。