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公开(公告)号：CN119516106A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411525013.0
申请日：2024-10-29
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本发明公开了一种航天热控涂层薄膜磁控溅射镀膜制造数字孪生系统搭建方法。该方法步骤：首先利用Unity3D与三维重建技术，构建机床三维模型；采用数字孪生模型对其实时采集的设备运行动作和运行数据进行映射模拟，实现制造过程的可视化；根据磁控溅射镀膜装备生产要求，通过数字孪生系统对指定镀膜产品或工艺建立指令预测模型，实现实时生产过程的在线质量预测；通过搭建通道‑空间注意力机制，建立镀膜缺陷强相关特征与缺陷类别之间的映射关系，实现基于融合多源采集信息的磁控溅射镀膜系统状态预警。
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