公开(公告)号：CN117593604A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311608733.9

申请日：2023-11-28

Applicant: 哈尔滨工业大学重庆研究院 ,  哈尔滨工业大学

Inventor： 陈斌 ,  李雨轩 ,  张元 ,  王君逸 ,  刘劼

IPC: G06V10/774 ,  G06V10/26 ,  G06V10/30 ,  G06V10/28 ,  G06V10/54 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种自适应晶圆正样本筛选方法，包括：阶段1，采用缺陷模拟策略，生成模拟缺陷样本；阶段2，设置训练集和测试集；所述训练集中包括由整片晶圆分割而成的多个Die；所述测试集中包括模拟缺陷样本和正样本；采用预设迭代算法，基于测试集对训练集中的样本进行数据清洗，并筛选得到训练集中的正样本。本发明无需人工干预即可实现对晶圆样本的正样本筛选，能够为后续基于正样本的无监督异常检测模型提供大规模的正样本训练集，有助于降低样本采集成本，提高采集效率和精准度。